phân loại cảm biến áp suất

... (MEMS), cảm biến áp suất điện dung, vi cảm biến áp suất kiểu tụ vi cảm biến áp suất kiểu áp trở Chƣơng trình bày phần mềm COMSOL Multiphysics kết mô tác động áp suất lên vi cảm biến áp suất điện ... hiểu cảm biến ứng dụng cảm biến Sau vào tìm hiểu cơng nghệ MEMS cảm biến áp suất, vi cảm biến áp suất kiểu tụ vi cảm biến áp suất kiểu áp trở - Dựa vào kết mơ phỏng, phân tích so sánh thông số cảm ... dụng cảm biến MEMS 28 2.2 Cảm biến áp suất 29 2.2.1 Khái niệm 29 2.2.2 Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất .29 2.3 Vi cảm biến áp suất 31 iv 2.3.1 Vi cảm

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:53

... khác Một loại cảm biến với nhiều ứng dụng rộng rãi, cảm biến áp suất Cảm biến áp suất đƣợc dùng đo trực tiếp hệ thống lò hơi, trạm bơm nƣớc hay nhà máy… Do việc tìm hiểu cảm biến áp suất, công ... 43 2.1.3 Ứng dụng cảm biến MEMS [4] 47 2.2 Cảm biến áp suất [4] 47 2.2.1 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ 48 2.2.2 Vi cảm biến áp suất kiểu áp trở 49 2.3 ... cảm biến áp suất điện dung 3.2.1 Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất điện dung Một cảm biến điện dung dựa lớp màng có điện cực hoạt động nhƣ lớp màng nhạy cảm với áp suất, dẫn đến thay đổi phân

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:55

... đồ khối cảm biến áp suất .36 Hình 2.2: Cảm biến áp suất 36 Hình 2.3: Cấu tạo cảm biến kiểu áp trở .37 Hình 2.4: Đo áp suất động ống Pitot 41 Hình 2.5: Đo áp suất động ... bình màng, có giá trị 0,27  m áp suất 10kPa  Lúc đồ thị bề mặt cảm biến điện dung hàm áp suất b) Ảnh hưởng áp suất tới giá trị điện dung cảm biến Kết ảnh hưởng áp suất tới giá trị điện dung đưa ... bị cảm biến Cảm biến thu hình, cảm thước, vị trí xa gần, màu sắc Áp suất, nhiệt độ, đau, biến quang Nhiệt trở, cảm biến tiệm tiếp xúc, tiệm cận, ẩm, khô Ngọt, mặn, chua cay, béo cận, Cảm biến

Ngày tải lên: 12/12/2019, 17:42

... sau: Tìm hiểu cảm biến ứng dụng cảm biến Sau vào tìm hiểu cơng nghệ MEMS cảm biến áp suất, vi cảm biến áp suất kiểu tụ vi cảm biến áp suất kiểu áp trở Nghiên cứu kết mô cảm biến áp suất điện dung ... động áp suất lên vi cảm biến áp suất điện dung Mục đích đề tài mô cảm biến áp suất điện dung, khảo sát tác động áp suất đến điện dung cảm biến ảnh hƣởng nhiệt độ đến giá trị điện dung cảm biến ... Import Mơ hình vi cảm biến áp suất điện dung: Hình 3.1: Mơ hình hình học cảm biến Mơ hình ¼ vi cảm biến áp suất điện dung thực mơ phỏng: Hình 3.2: Mơ hình ¼ vi cảm biến Các cảm biến áp suất phần khuôn

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:32

... Trình bày cảm biến áp suất đặc điểm cảm biến áp suất nhƣ khái niệm, nguyên tắc hoạt động ứng dụng Giới thiệu hai loại vi cảm biến áp suất thƣờng gặp vi cảm biến kiểu áp trở vi cảm biến áp suất kiểu ... ứng áp suất tác dụng lên màng Cảm biến áp suất loại cảm biến thƣờng dùng cơng nghiệp Trong y tế cảm biến áp suất thƣờng đƣợc sử dụng để đo áp suất máu động mạch tĩnh mạch Ƣu điểm lớn cảm biến áp ... động nhƣ phƣơng pháp chế tạo vi cảm biến áp suất kiểu màng hiệu ứng áp điện trở 2.4.2 Vi cảm biến áp suất kiểu áp trở Trên sở hiệu ứng áp trở vật liệu silicon, nhiều loại vi cảm biến chấp hành đƣợc

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:54

... kế mô khảo sát cảm biến áp suất điện dung 26 3.2.1 Thiết kế cảm biến áp suất điện dung 26 3.2.2 Cảm biến áp suất điện dung thay đổi vật liệu 28 3.2.3 Cảm biến áp suất điện dung ... dụng cảm biến MEMS 1.4 Kết luận chương 10 CHƯƠNG CẢM BIẾN ÁP SUẤT VÀ ỨNG DỤNG 11 2.1 Cảm biến áp suất 11 2.1.1 Khái niệm 11 2.1.2 Phân loại cảm biến ... 11 2.1.2 Phân loại cảm biến áp suất 12 2.1.3 Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất 13 2.1.4 Ứng dụng cảm biến áp suất 14 2.2 Cảm biến áp suất điện dung 15 2.3

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:54

... lock-in với cảm biến áp suất MPX2300D: Để đánh giá khả đo đạc khuyếch đại lock-in xây dựng em thực thiết kế hệ đo cho sensor áp suất MPX2300D 3.3.2.1 Cảm biến áp suất MPX2300D: - Cảm biến áp suất MPX2300D ... số sử dụng cảm biến áp suất trình bày hình 3.28 Sensor MPX2300D Reference signal Bộ Khuyếch Đại Lock-In Signal Input Tác dụng áp suất Kết qủa (hiển thị LCD) Hình 3.28 Sơ đồ hệ đo cảm biến MPX2300 ... khuyếch đại lock-in số, ta thử nghiệm hệ đo cho cảm biến có nhân khuyếch đại lock-in vừa chế tạo Cụ thể khóa luận thử nghiệm hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D công ty Motorola cung cấp Sinh

Ngày tải lên: 16/04/2013, 10:35

... Giải pháp là Tiên phong www.thietbicongnghiep.vn PRESSURE SENSOR & METER CẢM BIẾN ÁP SUẤT Full Catalog HAOYING – China LĨNH VỰCSẢN PHẨM - Bơm ... Áp suất, Nhiệt độ, Mức, - Hệ thống pha trộn – định lượng – Chiết rót. - Chế biến thực phẩm - Bia – Rượu - Dược phẩm – Sinh học - Hóa chất - Sơn – nhuộm - Giấy – Bộtgiấy CÔNG TY CP GIẢI PHÁP

Ngày tải lên: 10/06/2014, 20:56

... Bao gồm: + Phân bố độ lệch màng duới tải áp suất + Phân bố ứng suất + Đưa ra các vị trí tối ưu để đặt các áp trở nên màng cảm biến - Kết luận: Về đặc trưng ? ?áp ứng cơ của cảm biến áp suất MEMS ... Trần Thị Ngọc Quỳnh - Lớp K31 Vật lý CHƯƠNG 1 CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS VÀ PHẦN MỀM MÔ PHỎNG ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét về cảm biến áp suất MEMS Ngày nay với sự phát triển như vũ ... ứng dụng trong rất nhiều cảm biến khác như cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang, cảm biến hoá, cảm biến sinh học Không chỉ dừng lại ở lĩnh vực cảm biến, các linh kiện MEMS còn được ứng dụng

Ngày tải lên: 23/09/2014, 18:15

... tạo cảm biến áp suất kiểu tụ. 7 1.4 Mặt cắt của cảm biến áp suất cộng hưởng. 8 1.5 Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện. 8 1.6 Mặt cắt và mô hình cảm biến áp suất áp trở. 9 1.7 Cấu trúc của cảm biến ... Cảm biến áp suất có thể phân thành bốn loại chính như sau: (1) cảm biến áp suất kiểu tụ (capacitive), (2) cảm biến áp suất cộng hưởng, (3) cảm biến áp suất áp ... của loại cảm biến này là sai số lớn Hình 1.5 trình bày mặt cắt của cảm biến áp suất áp điện Hình 1.5: Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện [5] • Cảm biến áp suất áp

Ngày tải lên: 11/02/2015, 01:34

... kim loại Cảm biến áp suất dạng màng Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở Nguyên lý làm việc của cảm biến loại này dựa trên sự biến dạng của cấu trúc màng ( khi có áp suất ... áp suất tháp nó sẽ co lại Cảm biến áp suất dạng lò xo Khi giãn ra hay co lại, lò xo sẽ làm quay kim chỉ thị của áp kế Cảm biến áp suất dạng lò xo Cảm biến áp suất ... cho ống bị biến dạng và đầu tự do di chuyển Cần di động Áp suất p Cảm biến áp suất dạng lò xo Cần di động Cần di động Áp suất p Áp suất p Cảm biến áp suất dạng

Ngày tải lên: 22/04/2015, 10:35

... trong đó cảm biến (1) đo áp suất tổng, cảm biến (2) đo áp suất tĩnh 16 Đo áp suất động bằng ống Pitot 17 18 Ống Pitot 19 • Có thể đo áp suất động bằng cách đặt áp suất ... phẳng, áp suất động chuyển thành áp suất tĩnh, áp suất tác dụng lên mặt phẳng là áp suất tổng Do vậy áp suất động được đo thông qua chênh lệch giữa áp suất tổng và áp suất ... bình các cảm biến đo ứng suất để đo biến dạng của thành bình • Đối với chất lưu chuyển động, áp suất chất lưu (p) là tổng áp suất tĩnh và áp suất động 14 • Áp suất tĩnh

Ngày tải lên: 05/08/2015, 00:56

... silic Có nhiều hệ chủng loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý ... bó hẹp loại cảm biến mà phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS Các vi cảm biến sử ... chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất? ?? Mục đích nghiên cứu Mô đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Nguyễn Thị Trà

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... K31B_Lý Khoá luận tốt nghiệp Hoàng Thị Trang Chương cảm biến áp suất MEMS phần mềm mô ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 vài nét cảm biến áp suất MEMS Ngày với phát triển khoa học công nghệ, ... để chế tạo đầu đo áp suất với độ nhạy cảm cao xác Các vi cảm biến áp suất dựa hiệu ứng áp trở nghiên cứu phát triển Các vi cảm biến loại sử dụng màng silic vuông màng chữ nhật loại n, định hướng ... tuỳ theo áp suất cần đo phạm vi khác 1.1.2 Cảm biến áp suất MEMS màng chữ nhật phẳng áp suất tác động biến số tượng liên quan đến biến dạng mẫu vật liệu màng phẳng mỏng đàn hồi, áp suất thông

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... đo áp suất biến dạng thay cho đầu đo truyền thống Cùng với phát triển công nghệ, MEMS không bó hẹp loại cảm biến mà ứng dụng nhiều cảm biến khác cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang, cảm ... thảo luận Bao gồm: + Phân bố độ lệch màng duới tải áp suất + Phân bố ứng suất + Đưa vị trí tối ưu để đặt áp trở nên màng cảm biến - Kết luận: Về đặc trưng ? ?áp ứng cảm biến áp suất MEMS màng vuông ... chương Cảm biến áp suất MEMS phần mềm mô ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét cảm biến áp suất MEMS Ngày với phát triển vũ bÃo khoa học công nghệ nhiều ngành khoa học đời mang lại biến

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... nghiệp, chip cảm biến áp suất có tác dụng kiểm soát áp suất đường ống, khí gas Trong lĩnh vực y tế, chip cảm biến áp suất dùng thiết bị đo huyết áp Còn đời sống, chip cảm biến áp suất dùng thiết ... công chip cảm biến áp suất công nghệ MEMS sẵn sàng cho thương mại hóa sản phẩm Theo thạc sĩ Trương Hữu Lý, Trưởng nhóm nghiên cứu chip cảm biến áp suất Trung tâm R&D, chip cảm biến áp suất ứng ... Sản xuất thành công chip cảm biến áp suất công nghệ MEMS  1-0012178: Chân chống bên xe máy hai bánh có kết cấu tựa xoay  Thiết kế chế tạo hệ thống lắp ráp tự động cuộn cảm  1-0012194: Kết cấu

Ngày tải lên: 18/02/2016, 01:29

... kế 50 25 Hình 2.6 Cảm biến áp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảm biến áp suất 59 27 Hình 2.8 Mơ hình phần tử hữu hạn cuả cảm biến áp suất áp 60 điện trở 28 ... cảm biến áp suất áp 61 điện trở 29 Hình 2.10 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảm biến 62 áp suất với L = 500 µm, H = 10 µm, P = 100 KPa 30 Hình 2.11 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảm biến 63 áp suất ... Cảm biến áp suất tụ điện thạch anh bù gia tốc 40 19 43 20 Hình 1.19 Cảm biến áp suất cộng hưởng vi phân Yokogawa Hình 2.1 Quy trình thiết kế linh kiện vi điện tử 21 Hình 2.2 a) Cấu trúc cảm biến

Ngày tải lên: 16/11/2016, 21:19

... tụ Cảm biến áp suất kiểu dòng xoáy từ trở Cảm biến áp suất vật liệu biến dạng Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở • Nguyên lý làm việc cảm biến loại dựa biến dạng cấu trúc màng (khi có áp suất ... mA - Công nghệ cảm biến: dựa theo yêu cầu sử dụng Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất Cảm biến Áp suất Xử lí Áp suất: nguồn áp suất cần kiểm tra áp suất khí, chất lỏng… Ngõ Cảm biến: phận nhận ... cảm biến thực xử lý để chuyển đổi tín hiệu sang dạng tín hiệu tiêu chuẩn Một số loại cảm biến áp suất: • • • • • Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở (thường sử dụng) Cảm biến áp suất kiểu tụ Cảm

Ngày tải lên: 10/03/2017, 20:19

... • Cảm biến mực nước máy giặt III:Đo áp suất Đo áp suất phương pháp trực tiếp : • Đó phương pháp đo mà áp suất tác động trực tiếp lên cảm biến Tín hiệu cảm biến phản ánh áp suất cần đo Những cảm ... áp suất cần đo Những cảm biến thực theo phương pháp cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, áp trở…vv…dưới ta khảo sát số cảm biến thường gặp Ngoài cảm biến điện áp đo áp suất không dùng cho chất ... CẢM BIẾN ÁP SUẤT CHẤT LỎNG` Dẫn đề Cảm biến chất lỏng • Đo áp suất • Đo Lưu lượng • Đo Mức I: Đo lưu lượng a : Đo lưu lượng phương pháp đếm xung II : ĐO MỨC II .Cảm biến áp suất thủy

Ngày tải lên: 29/08/2017, 09:09

... silic Có nhiều hệ chủng loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý ... bó hẹp loại cảm biến mà phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS Các vi cảm biến sử ... điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất? ?? Mục đích nghiên cứu Mơ đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Đối tượng nghiên cứu Cảm biến áp

Ngày tải lên: 05/05/2018, 09:01