nguyên lý đo của cảm biến áp suất
khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS
Ngày tải lên :
11/04/2013, 16:01
... phn th tớch phin vt liu hỡnh thnh chi tit vi c Gi l gia cụng nhng thc l dựng cỏc phng phỏp hoỏ, lý n mũn (tm thc) to trờn phin cỏc l sõu, cỏc rónh, cỏc ch lừm v.v nh c minh ho trờn hỡnh 1.2 64 ... bin ỏp sut tng i c) Cm bin ỏp sut vi sai 70 Núi chung, c ba loi cm bin ny u hot ng theo nguyờn lý so sỏnh ỏp sut cn o vi mt ỏp sut khỏc, thng ó bit trc, l ỏp sut chun Vi cm bin ỏp sut tuyt i, ... ỏp tr (piezoresistive) c trỡnh by di õy 1.1.3 Vi cm bin ỏp sut kiu t Cỏc cm bin kiu t cú nguyờn lý hot ng rt n gin in dung ca t c thay i bng cỏch tỏc ng lờn mt cỏc thụng s lm thay i in trng gia...
- 23
- 1.2K
- 2
Tài liệu Nguyên lý đo mức lưu lượng, áp suất pptx
Ngày tải lên :
21/01/2014, 13:20
... Không giống cảm biến đo mức bong bóng khí, cảm biến áp suất vi sai sử dụng môi trường nén áp - Loadcell (cầu điện trở đo áp lực) Loadcell hay thước đo độ biến dạng/cầu điện trở đo áp lực loại ... vào, áp suất ống tăng thắng áp suất chất lỏng bình Một chuyển đổi nối với ống dẫn khí để giám sát tăng áp ống Từ áp suất đo tính mức chất lỏng bình chứa Cảm biến áp suất vi sai mô tả hình Loại cảm ... sai mô tả hình Loại cảm biến đo mức cách đo độ chênh lệch áp suất tổng đáy bình chứa áp suất tĩnh hay gọi áp suất khoảng không khí bình chứa để tính mức chất lỏng Loại cảm biến lấy không khí bên...
- 9
- 1.7K
- 23
khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất mems
Ngày tải lên :
05/10/2014, 07:49
... c) Cảm biến áp suất vi sai Nói chung, ba loại cảm biến hoạt động theo nguyên lý so sánh áp suất cần đo với áp suất khác, thường biết trước, áp suất chuẩn Với cảm biến áp suất tuyệt đối, áp suất ... ứng áp suất tác dụng lên màng Cảm biến áp suất loại cảm biến thường dùng công nghiệp Trong y tế cảm biến áp suất thường sử dụng để đo áp suất máu động mạch tĩnh mạch Ưu điểm lớn cảm biến áp suất ... mà màng bị biến dạng, độ biến dạng màng phụ thuộc vào độ lớn áp suất tác dụng vào Cảm biến áp suất kiểu màng có số cấu trúc sau: Cảm biến áp suất tuyệt đối (hình 2.a) Cảm biến áp suất tương đối...
- 9
- 508
- 1
Mô phỏng đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện của cảm biến áp suất MEMs kiểu điện dung dưới tải áp suất
Ngày tải lên :
30/11/2015, 22:13
... nhiều hệ chủng loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển đổi tín ... phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS Các vi cảm biến sử dụng silic làm vật liệu đế ... chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Mục đích nghiên cứu Mô đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Nguyễn Thị Trà...
- 28
- 340
- 0
Mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng chữ nhật phẳng dưới tải áp suất
Ngày tải lên :
30/11/2015, 22:13
... phân tích kết Khoa vật lý K31B _Lý Khoá luận tốt nghiệp Hoàng Thị Trang Chương cảm biến áp suất MEMS phần mềm mô ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 vài nét cảm biến áp suất MEMS Ngày với phát ... phần mềm mô ansys 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét cảm biến áp suất MEMS 1.1.2 Cảm biến áp suất MEMS màng chữ nhật phẳng 1.2 Phần mềm ANSYS ứng dụng để mô hoạt động cảm biến 1.2.1 Giới thiệu ... tuỳ theo áp suất cần đo phạm vi khác 1.1.2 Cảm biến áp suất MEMS màng chữ nhật phẳng áp suất tác động biến số tượng liên quan đến biến dạng mẫu vật liệu màng phẳng mỏng đàn hồi, áp suất thông...
- 32
- 240
- 0
Mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất
Ngày tải lên :
30/11/2015, 22:13
... đo áp suất biến dạng thay cho đầu đo truyền thống Cùng với phát triển công nghệ, MEMS không bó hẹp loại cảm biến mà ứng dụng nhiều cảm biến khác cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang, cảm ... tải áp suất + Phân bố ứng suất + Đưa vị trí tối ưu để đặt áp trở nên màng cảm biến - Kết luận: Về đặc trưng áp ứng cảm biến áp suất MEMS màng vuông dựa cấu trúc nhóm hoạt động cảm biến áp suất ... điện lối Đó áp điện trở Cảm biến áp suất MEMS màng vuông hoạt động dựa nguyên lý cảm biến áp suất MEMS màng vuông dạng phẳng thông thường: Đó có chênh lệch áp suất màng bị uốn cong, áp trở cấy...
- 39
- 270
- 0
thử nghiệm một hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D do công ty Motorola cung cấp.
Ngày tải lên :
16/04/2013, 10:35
... (ví dụ như: đo lường xác, robotic, ) Nhiều cảm biến thiết kế có lối điện áp nhỏ, việc để phát sai lệch đo điện áp khó khăn Do ý tưởng thiết kế hệ đo lường có độ nhạy cao cho cảm biến quan trọng, ... Nghiệp Mở Đầu Với phát triến mạnh việc ứng dụng cảm biến việc thiết kế hệ đo khảo sát cảm biến cần thiết, thiết bị thiếu cho phòng thí nghiệm Một hệ đo nhạy có xác cao ứng dụng y học, máy xét nghiệm ... 3.1.3 Khối biến đổi DAC 3.1.3.1 Hoạt động DAC tính chất Hình 3.6 Ví dụ biến đổi DA bít Mục đích biến đổi DA, nêu, biến đổi tín hiệu nhị phân n bít thành dòng hay áp tương ứng Hình 3.6 ví dụ biến đổi...
- 72
- 644
- 0
cảm biến áp suất dựa trên phép đo biến dạng
Ngày tải lên :
28/11/2014, 16:15
... tĩnh cảm biến áp suất dùng biến đổi cảm ứng: (20.21) Để đo độ tự cảm L người ta dùng cầu đo xoay chiều mạch cộng hưởng LC B ộ biến đổi kiểu biến áp vi sai Bộ biến đổi áp suất kiểu biến áp vi ... tử biến dạng thành tín hiệu đo Các chuyển đổi loại thường dùng là: cuộn cảm, biến áp vi sai, điện dung, điện trở - Biến đổi ứng suất thành tín hiệu đo Các chuyển đổi phần tử áp điệnhoặc áp trở ... chỉnh giới hạn đo phạm vi ±25% Hình 20.11: Sơ đồ cấu tạo nguyên lý biến đổi kiểu biến áp vi sai 1) Lò xo vòng 2) Phần tử biến đổi 3&4) Cuộn thứ cấp 5) Lõi thép 6) Cuộn sơ cấp Nguyên lý làm việc:...
- 9
- 551
- 8
Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS
Ngày tải lên :
25/03/2015, 11:45
... suất khí với áp suất khác Áp suất tuyệt đổi: đo so với áp suất chân không lý tưởng Một ví dụ đo áp suất khí Áp suất vi sai đo sai khác áp suất điểm phép đo Thiết kế cảm biến đo áp suất vi sai ... 2.2 CẢM BIẾN ÁP SƯẤT CÔNG NGHỆ MEMS ứng dụng MEMS để đo áp suất ứng dụng cảm biển vi Si Những cảm biến áp suất phát triển với dải rộng kỹ thuật cảm biến tò loại phổ biến áp trở đến cảm biến áp suất ... tUMMOQTMOMPMUQN Hình 1-19: Cảm biến áp điện chuyển đổi sức căng thành điện ngược lại Các cảm biến sờ công nghệ dùng để đo áp suất biến thiên 1.2.4 Cảm biến áp suất đo sức căng C c c ả m b iế...
- 110
- 443
- 0
Cảm biến áp suất và các ứng dụng của chúng
Ngày tải lên :
22/04/2015, 10:35
... báo cáo Lịch sử đo áp suất Khái niệm nguyên lý hoặt động Phân loại cảm biến áp suất Ứng dụng cảm biến áp suất Giới thiệu số cảm biến lưu ý lựa chọn cảm biến áp suất Lịch sử đo áp suất Năm 1648, ... màng kẹp cứng hai kim loại Cảm biến áp suất dạng màng Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở Nguyên lý làm việc cảm biến loại dựa sự biến dạng của cấu trúc màng ( có áp suất tác động đến) chuyển thành ... lớn màng phẳng Cảm biến áp suất dạng màng Màng dẻo Khi đo áp suất nhỏ người ta dùng màng dẻo hình tròn phẳng chế tạo từ vải cao su Cảm biến áp suất dạng màng Màng dẻo Cảm biến áp suất dạng màng...
- 44
- 847
- 4
Thiết kế mới nâng cao độ nhạy cho cảm biến áp suất mems kiểu áp trở dựa trên giải pháp tạo màng có 4 góc mỏng
Ngày tải lên :
04/09/2015, 19:15
... 80 Độ lệch lối (mV/V) ứng suất cực đại (N/micro-m2) 800 700 600 500 400 300 70 60 50 40 30 200 20 100 10 0 Hỡnh S ph thuc ca ng sut cc i vo ỏp sut áp suất (atm) áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca ... 24 Độ lệch màng cức đại (micro mét) 22 20 18 16 14 12 10 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.2 1.4 1.6 1.8 2.2 áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca lch cc i trờn mng cm bin vo ỏp sut Kt qu cho thy, vựng kho sỏt,...
- 7
- 405
- 1
Sơ lược về cảm biến áp suất
Ngày tải lên :
24/10/2013, 12:15
... Kết phép đo áp suất vi sai không rõ áp suất tuyệt đối hay calip, hai bên phép đo so sánh cách trực tiếp Giá trị đọc độ chênh lệch áp suất không cho biết độ lớn cụ thể áp suất bên Nếu áp suất vi ... cường tuổi thọ cho cảm biến Khi áp dụng cách, thu giá trị đọc mà không làm ảnh hưởng tới màng ngăn cảm biến Màng ngăn (Diaphragm seal) – màng ngăn lắp phía cảm biến để truyền áp suất mà không cho ... nhập vào cảm biến Khi sử dụng, cảm biến phải nạp đầy chất trơ, thường đầu silicon để truyền áp suất toàn hệ thống Bộ bảo vệ áp (overpressure protector) – van lò xo tự đóng trường hợp áp suất lớn...
- 6
- 2K
- 34