Hệ gốm Bi0,5 (Na0,8K0,2)0,5TiO3 - xZnSnO3 (BNKT - xZS) là hệ gốm không chì có cấu trúc perovskite được chế tạo bằng phương pháp phản ứng pha rắn thuyền thống. Cấu trúc hình thái học của BNKT - ZS được quan sát thông qua ảnh SEM với các biên hạt kết dính nhau với mật độ xếp chặt cao.
TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CƠNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học, ĐH Huế Tập 15, Số (2020) CẢI TIẾN CƠNG NGHỆ VÀ NGHIÊN CỨU MỘT TÍNH CHẤT VẬT LÝ CỦA HỆ GỐM BNKT ĐỒNG PHA TẠP ZnO VÀ SnO2 Mai Kim Ngọc1,2, Nguyễn Ngọc Thanh1,3, Nguyễn Trường Thọ1* Khoa Vật lý, Trường Đại học Khoa học, Đại học Huế Trường THPT Phan Bội Châu, Pleiku, Gia Lai Trường THPT Chu Văn An, Krông Pa, Gia Lai *Email: ntthokh@hueuni.edu.vn Ngày nhận bài: 01/10/2019; ngày hoàn thành phản biện: 4/10/2019; ngày duyệt đăng: 20/12/2019 TÓM TẮT Hệ gốm Bi0,5 (Na0,8K0,2)0,5TiO3 xZnSnO3 (BNKT xZS) hệ gốm khơng chì có cấu trúc perovskite chế tạo phương ph{p phản ứng pha rắn thuyền thống Cấu trúc hình thái học BNKT ZS quan sát thơng qua ảnh SEM với biên hạt kết dính với mật độ xếp chặt cao Ảnh hưởng pha tạp ZnSnO3 lên tính chất điện hệ gốm khảo sát So với BKNT khơng pha tạp, tính chất hệ gốm cải thiện nhiệt độ thiêu kết 1050oC Với nồng độ ZnSnO3 tối ưu l| 0,75% mol nhiệt độ thiêu kết 1050oC tính chất điện hệ gốm tốt nhất: mật độ gốm 6,0g/cm3, hệ số liên kết điện kp= 0,23, số điện môi r = 1059, nhiệt độ thiêu kết giảm 100 oC so với BNKT không pha tạp thiêu kết 1150oC Từ khóa: Hệ gốm khơng chì, {p điện, phân cực MỞ ĐẦU Vật liệu {p điện khơng chì nghiên cứu rộng rãi nhằm thay vật liệu {p điện Pb(Zr1-xTix)O3 (PZT) ứng dụng nhớ tích hợp, siêu âm cảm biến,… Tuy nhiên tính chất vật lý gốm {p điện khơng chì chưa thể hệ gốm PZT với nhiệt độ chuyển pha Curie cao (TC ≈ 193oC), độ phân cực dư kh{ lớn (Pr ≈ 20μC/cm2) dạng đường trễ sắt điện PE bão hòa, hệ số {p điện tốt (d33 ≈ 590 pC/N) hệ số liên kết điện bề mặt lớn (kp ≈ 0,63) *1,2+ Do đó, việc lựa chọn thành phần cải tiến công nghệ chế tạo giải ph{p để nâng cao tính chất vật lý gốm khơng chì Sodium bismuth titanate Na0,5Bi0,5TiO3 (NBT) loại hệ vật liệu khơng chì có tính chất điện môi v| {p điện tốt, với nhiệt độ TC cao ( ≈ 320oC), phân cực dư Pr ≈ 38 39 Cải tiến công nghệ nghiên cứu tính chất vật lý hệ gốm BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 µC/cm2[3] Tuy nhiên, phạm vi nhiệt độ hoạt động loại vật liệu thấp, tính chất {p điện bị nhiệt độ 200oC Điều trình chuyển pha nhiệt độ thấp, xuất bất thường tính chất điện môi từ pha sắt điện sang pha phản sắt điện Nhiều nỗ lực nghiên cứu thực để tăng cường tính chất áp điện v| điện môi NBT cách thay ion khác vị trí A B, số nghiên cứu thay pha tạp làm giảm giá trị Td vật liệu.[4,5,6] Potassium bismuth titanate K0,5Bi0,5TiO3 (KBT) loại vật liệu {p điện có nhiệt độ Curie (380oC) cao NBT, cho thấy chuyển tiếp pha thứ hai từ pha tứ giác sang giả lập phương Sự kết hợp hai hệ KBT NBT giải ph{p mong đợi để cải thiện tính chất {p điện hệ *7+ Tuy nhiên, th|nh phần Bismuth hỗn hợp tạo BNKT l| dễ bay hơi, l|m giảm tính chất gốm *8,9+ Năm 2013 Hyoung-Su Han cộng nghiên cứu tính chất {p điện điện giảo pha tap Sn vào hệ gốm khơng chì BNKT với lượng pha tạp Sn 8%BNKT thu hệ số Qm cao [10] Sự tồn pha lỏng liên kết SnBi hi vọng giảm giảm nhiệt độ thiêu kết BNKT l|m giảm lượng bay Bi l|m tăng tính chất {p điện cho hệ Trong báo chúng tơi trình bày số khảo về tính chất điện mơi {p điện hệ vật liệu BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 THỰC NGHIỆM Công thức vật liệu cần nghiên cứu Bi0,5(Na0,8K0,2)0,5TiO3 xZnSnO3, x = 0,25%; 0,50%; 0,75% 1,00% Sử dụng vật liệu ban đầu bột oxit Bi2O3, Na2CO3, K2CO3, TiO2, ZnO, SnO2 (độ tinh khiết ≥ 99%) Tiến hành phân tích giản đồ phân tích nhiệt (TGDTA) bột BNKTZS ( hình 1) để x{c định nhiệt độ nung sơ cho BNKTZS Trong qu{ trình tăng nhiệt độ từ nhiệt độ phịng đến 900oC có thay đổi khối lượng vật liệu 40 TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CƠNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học, ĐH Huế Tập 15, Số (2020) DrTGA TGA mg/min DTA % uV 100 120 DrTGA 100 Weight Loss 469.24C -0.635mg -6.374% Weight Loss -0.595mg -5.973% -1 80 60 TGA 40 80 -2 20 60 -3 DTA -4 -20 40 200 400 600 800 1000 Temp (C) Hình Đường cong TGA DTA bột BNKTZS với tốc độ gia nhiệt 10oC/phút Lúc đầu khối lượng mẫu l| 100%, tăng dần nhiệt độ lên khoảng 100oC bốc nước làm giảm nhanh khối lượng hệ, sau tiếp tục giảm dần bay chất thành phần nhiệt độ cao Từ khoảng nhiệt độ 670oC khối lượng hợp chất bão hịa, giảm khối lượng tương đối tuyến tính ổn định Trên phổ DTA xuất c{c đỉnh thu nhiệt tỏa nhiệt khoảng nhiệt độ 650oC đến 800oC Kết hợp suy giảm khối lượng theo giản đồ TGA v| DTA, điều khoảng tạo pha cho nhiệt độ BNKTZS nằm vùng 650oC đến 850oC bắt đầu hình thành BNKT Để đảm bảo việc chuyển pha mẫu, hỗn hợp bột nung sơ nhiệt độ 850oC Hệ vật liệu ép thành viên trịn có đường kính 12 mm v| độ dày 1,5 mm Sau đó, viên n|y cho vào cốc sứ phủ kín bột nhơm sau nung thiêu kết nhiệt độ 1000, 1050, 1070 1150oC Mật độ gốm đo phương ph{p Archimedes Mẫu phân cực dầu silicone 120oC với điện trường {p đặt 30 kVcm-1 30 phút, sau l|m lạnh xuống nhiệt độ phòng Sự kết tinh vật liệu phân tích từ giản đồ nhiễu xạ (XRD) phân tích (D8 ADVANCE Bruker) nhiệt độ phịng Cấu trúc hình thái học kiểm tra kính hiển vi điện tử quét (SEM; JSM6340F) Các tính chất {p điện x{c định tần số cộng hưởng phản cộng hưởng sử dụng máy phân tích trở kháng ( RLC Hioki 3532) 41 Cải tiến cơng nghệ nghiên cứu tính chất vật lý hệ gốm BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN (310) (220) (211) (200) (111) (100) (110) Hình cho thấy giản đồ nhiễu xạ Xray gốm BNKTZS thiêu kết nhiệt độ 1050oC 2h BNKT-1.00ZS.1050 BNKT-0,75ZS.1050 BNKT-0,50ZS.1050 BNKT-0,25ZS.1050 BNKT-0.00ZS.1050 20 30 40 50 60 70 80 2 Hình Phổ nhiễu xạ gốm BNKTZS nhiệt độ 1050oC Hệ gốm có cấu trúc đơn pha perovskite, khơng tồn pha tạp v| độ kết tinh gốm cao Để quan sát rõ ảnh hưởng pha tạp, chúng tơi chọn đỉnh (110) phóng khảo s{t hình Tại nhiệt độ 1050oC, sau pha tạp 0,25% ZS, cường độ đỉnh khơng cao, thay đổi cấu trúc BNKT ảnh hưởng đến kết tinh vật liệu Tiếp tục tăng lượng pha tạp ZS cường độ đỉnh tăng dần, v| đến 0,75%ZS đạt cực đại Tuy nhiên, sau lại giảm với lượng tăng ZS, kết tinh giảm dần Sự dịch chuyển đỉnh sang phải mẫu pha tạp chứng tỏ có ảnh hưởng pha tạp vào hệ, pha tạp lượng nhỏ khối lượng BNKT-0.50ZS.1050 BNKT-0.25ZS.1050 BNKT-0.75ZS.1050 BNKT-1.00ZS.1050 BNKT-0.00ZS.1050 31.8 32.0 32.2 32.4 32.6 32.8 33.0 Hình Sự mở rộng đỉnh (110) Sự phụ thuộc mật độ gốm BNKTZS vào nhiệt độ thiêu kết hiển thị hình Có thể thấy mật độ gốm BNKTZS thay đổi phụ thuộc vào nhiệt độ thiêu kết nồng độ ZnSnO3 42 TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CƠNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học, ĐH Huế 6.4 Tập 15, Số (2020) BNKT - 0.00ZS BNKT - 0.25ZS BNKT - 0.50ZS 6.2 BNKT - 0,75ZS BNKT - 0,25ZS MËt ®é gèm 6.0 5.8 5.6 5.4 5.2 5.0 950 1000 1050 1100 1150 1200 NhiƯt ®é Hình Sự phụ thuộc mật độ gốm BNKTZS vào nhiệt độ thiêu kết Mật độ gốm tăng tăng lượng SnZnO3 nhiệt độ thiêu kết Mật độ gốm đạt cực đại (ρ = 6,0 g/cm3) nồng độ 0,75% ZnSnO3 nhiệt độ thiêu kết 1050oC, sau giảm dần Mật độ gốm giảm dần nhiệt độ thiêu kết lớn 1050oC, nguyên nhân bay Bi2O3 trình thiêu kết nhiệt độ cao Theo kết trên, nhiệt độ thiêu kết tối ưu (1-x) BNKTZS 1050oC Hình Ảnh SEM a) BNKT0,25ZS, b) BNKT0,75ZS, c) BNKT1,00ZS thiêu kết 1050oC Dựa vào hình phụ thuộc kích thước hạt mẫu vào nồng độ ZS, ta thấy nồng độ x = 0,25, đa số hạt có kích thước nhỏ, bắt đầu xuất kết dính biên hạt số vùng, nhiên khơng có nhiều lỗ hỗng nhỏ, mật độ gốm mẫu nung thiêu kết nhiệt độ không cao Đối với mẫu pha tạp ZS với nồng độ x = 0,75, hạt tương đối đồng đều, khả xếp chặt cao kích thước hạt lớn v| c{c hạt xếp thành đ{m liên kết với Mật độ hạt cao gần không xuất khuyết tật lỗ hổng cấu trúc hạt Điều phù hợp với kết khảo sát mật độ gốm đạt giá trị lớn nhiệt độ Tuy nhiên, tăng nồng độ lên x = 1,00, hạt gần t{ch rời nhau, kích thước khơng đồng đều, số lượng lỗ hổng tăng lên lượng lớn mật độ gốm giảm Tại nồng độ pha tạp cao, cấu trúc hợp chất bị phá vỡ, đồng hợp chất giảm 43 Cải tiến cơng nghệ nghiên cứu tính chất vật lý hệ gốm BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 với lượng bay Bi nhiều, đóng góp v|o việc giảm mật độ trung bình gốm Hình Ảnh SEM a) BNKT1150oC, b) BNKT0,75ZS.1050oC Hình hiển thị kích thước hạt cấu trúc bề mặt vật iệu gốm BNKT không pha tạp thiêu kết nhiệt độ 1150oC BNKT pha tạp 0,75ZS thiêu kết 1050oC Với BNKT khơng pha tạp, hạt hình th|nh biên pha tương đối rỏ rệt đồng kích thước kèm theo mật độ gốm tương đối cao So với BNKT khơng pha tạp, BNKT0,75ZS.1050 có kích thước hạt nhỏ hơn, nhiên xuất liên kết chặt chẽ hạt, biên pha gần dính liền v|o nhau, điều l|m tăng mật độ gốm mặt dù nung thiêu kết nhiệt độ thấp Như vậy, gốm BNKT0,75ZS nung thiêu kết 1050oC có mật độ lớn, liên kết hạt chặt chẽ hơn, v| không xuất lỗ trống cấu trúc gốm so với thành phần khác thay đổi nồng độ pha tạp ZS khác Hình hiển thị phụ thuộc số điện mơi εr nhiệt độ phịng v| độ tổn hao điện môi tanδ 1kHz gốm BNKTZS vào nhiệt độ thiêu kết khác Hằng số điện môi εr tăng nhiệt độ thiêu kết tăng v| đạt giá trị cực đại 1059 1050oC với x = 0,75 v| sau giảm dần Kết cho thấy hệ gốm BNKT0,75ZS có số điện môi cao v| độ tổn hao điện môi thấp 1100 0.040 1000 0.036 800 0.034 700 § é tỉn hao Hằng số điện môi 0.038 900 0.032 600 0.030 1000 1040 1080 1120 1160 o NhiƯt ®é ( C) Hình Sự phụ thuộc số điện môi v| độ tổn hao điện môi vào nhiệt độ nung thiêu kết 44 TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CƠNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học, ĐH Huế Tập 15, Số (2020) Chúng tiến h|nh đo phổ dao động cộng hưởng mẫu nhiệt độ phịng để x{c định tính chất {p điện hệ gốm Hình thể phổ dao động cộng hưởng mẫu theo nhiệt độ khác nhau, nhiệt độ thiêu kết ảnh hưởng đến hệ số liên kết điện Hằng số liên kết điện (kp), hệ số phẩm chất (Qm) thay đổi phụ thuộc vào nồng độ ZnSnO3 (hình 9) Hằng số liên kết điện v| hệ số phẩm chất gốm BNKTZS cải tiến rõ rệt, giá trị cực đại kp 0,23, Qm 155 với nồng độ x = 0,75 nhiệt độ thiêu kết 1050oC Điều liên quan đến tính mật độ gốm bay Bi Trong suốt trình thiêu kết, hình thành pha lỏng l|m tăng cường mật độ v| kích thước hạt, dẫn đến làm giảm lượng cải thiện tính chất điện a 360 -82.5 5000 Tæng trë Z -83.5 320 -30 -40 3000 -50 2000 -60 -84.0 1000 300 -84.5 280 285 290 295 300 305 -10 -20 4000 Gãc pha (®é) Tỉng trë Z 6000 -83.0 340 b -82.0 -70 -80 270 310 Gãc pha (®é) 380 275 280 285 290 TÇn sè f (kHz) c 1640 -82 1600 -83 1580 Gãc pha (®é) Tỉng trë Z 1620 -84 1560 1540 -85 320 325 330 335 340 345 350 TÇn sè f (kHz) Hình Phổ dao động cộng hưởng mẫu a) BNKT0,75ZS.1000, b) BNKT0,75ZS.1050, c) BNKT.0,75ZS.1070 a 680 660 -78 5000 -80 -82 600 -83 Tæng trë Z 620 -30 -40 3000 -50 2000 -60 -84 560 -10 -20 4000 -81 Gãc pha (®é) Tæng trë Z 640 580 b 6000 -79 1000 -70 -85 540 520 -80 -86 290 295 300 305 310 315 270 TÇn sè f (kHz) 275 280 TÇn sè f (kHz) 45 285 290 Gãc pha (®é) 700 Cải tiến cơng nghệ nghiên cứu tính chất vật lý hệ gốm BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 1500 c 1400 -50 -55 1300 -60 -65 1100 -70 1000 -75 900 Gãc pha (®é) Tỉng trë Z 1200 -80 800 -85 700 292 294 296 298 300 -90 TÇn sè f (kHz) Hình phổ dao động cộng hưởng mẫu a) BNKT0,25 ZS.1050, b) BNKT0,75 ZS.1050, c) BNKT.1ZS.1050 KẾT LUẬN Chúng chế tạo thành công hệ gốm Bi0,5(Na0,8K0,2)0,5TiO3 xZnSnO3 với x = 0,25; 0,50; 0,75; 1,00 nhiệt độ thiêu kết khác Gốm BNKT0,75ZS thiêu kết 10500C h có cấu trúc đơn pha perovskite Thơng qua ảnh SEM cho thấy biên hạt gần liền kề nhau, hạt kết dính th|nh đ{m lớn, mật độ xếp chặt cao Trong nghiên cứu này, hệ gốm nung thiêu kết nhiệt độ thấp 1050oC lại thể tính chất điện tốt bay lượng lớn Bi3+ với gia tăng nhiệt độ thiêu kết Trong suốt trình thiêu kết, hình thành pha lỏng thể biên hạt l|m tăng cường mật độ v| kích thước hạt cải thiện tính chất điện Tính chất vật lý mẫu BNKT0,75ZS.1050 thể qua thông số hệ số điện môi = 1059, hệ số {p điện liên kết điện kp = 0,23, Qm = 155 So với hệ gốm BNKT tính chất điện mẫu BNKTZS.1050 cải thiện giảm nhiệt độ thiêu kết từ 1150oC xuống cịn 1050 oC 46 TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học, ĐH Huế Tập 15, Số (2020) LỜI CẢM ƠN Nghiên cứu n|y tài trợ kinh phí từ đề tài cấp Bộ Giáo dục v| Đ|o tạo với mã số B2019-DHH-13 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] B Jafe, W Cook, H Jafe (Eds.), piezoelectric ceramics, Academic Press, New York (1971) [2] ChunHuy Wang, J Ceram Soc Jpn Vol 117, 2009, pp 693697 [3] X Wang, H LaiWa Chan, C.L Choy, (Bi1/2Na1/2)TiO3–Ba(Cu1/2W1/2)O3 leadfree piezoelectric ceramics, J Am Ceram Soc 86 (2003) 1809– 1811 [4] Z Yang, Y Hou, B Liu, L Wei, Structure and electrical properties of Nd2O3doped 0.82Bi0.5Na0.5TiO3 –0.18Bi0.5K0.5TiO3 ceramics, Ceram Int 35 (2009) 1423–1427 [5] D Lin, D Xiao, J Zhu, P Yu, Piezoelectric and ferroelectric properties [6] Y Li, W Chen, Q Xu, J Zhou, Y Wang, and H Sun, “Piezoelectric and dielectric properties of CeO2doped Bi0.5Na0.44K0.06TiO3 leadfree ceramics”, Ceramics International, 95–99, 2007 [7] Amir Ullah,Aman Ullah,Ill Won Kim, Dae Su Lee, Soon Jong Jeongand ChangWon Ahn,J Am Ceram Soc Vol 97, 2014, pp 2471–2478 [8] HoHua Chung, ChengFu Yang, KaiHuang Chen and ChienChen Diao, Materials Chemistry and Physics Vol 110, 2008, pp 311–315 [9] ChunHuy Wang, J Ceram Soc Jpn Vol 117, 2009, pp 693-697 [10] HSu Han, W Jo, J.K Kang, C.W Ahn, I W Kim, K K Ahn, and J.S Lee Incipient piezoelectrics and electrostriction behavior in Sndoped Bi1/2(Na0.82K0.18)1/2TiO3 leadfree ceramics, journal of Applied Physics 113, 154102 (2013) TECHNOLOGY IMPROVEMENTS AND STUDY OF A NUMBER OF PHYSICAL CHARACTERISTICS OF BNKT CERAMIC CO-DOPING ZnO AND SnO2 Mai Kim Ngoc, Nguyen Ngoc Thanh, Nguyen Truong Tho * Department of Physics, University of Science, Hue University *Email: ntthokh@hueuni.edu.vn ABSTRACT Bi0.5 (Na0.8K0.2)0.5TiO3 - xZnSnO3) (BNKT-xZS) ceramics are fabricated by traditional solid state phase reaction method at 1000oC to 1150oC The morphological structure 47 Cải tiến công nghệ nghiên cứu tính chất vật lý hệ gốm BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 of BNKT-ZS is shown high density with bounded grain boundaries through scanning electron microscope (SEM) images The effect of Co-doping ZnO and SnO2 on the electrical properties of the BNKT ceramic system improved compare with non-doped BKNT at the sintering temperature of 1050oC The optimal ZnSnO3 concentration of 0.75% mol and sintering temperature at 1050 oC, the electric properties of the BNKT-xZS system obtained high electromechanical coupling factor of kp = 0.23, dielectric constant Ɛr = 1059 and mechanical quality factor of Qm= 155 Keywords: BNKT, Lead-free piezoelectric ceramics, Piezoelectric properties Mai Kim Ngọc sinh ngày 04/5/1982 Bình Định Bà tốt nghiệp cử nhân ngành Vật Lý – Kỹ thuật công nghệ năm 2004 trường Đại học Quy Nhơn – Bình Định Từ năm 2004 đến nay, bà công tác Trường THPT Phan Bội Châu, Pleiku, Gia Lai l| tổ phó chun mơn tổ Vật Lý – Kỹ thuật cơng nghệ trường Nguyễn Ngọc Thanh sinh ngày 17/05/1985 Nghệ An Ông tốt nghiệp cử nhân ngành Vật Lý năm 2007 trường Đại học Quy Nhơn – Bình Định Từ năm 2007 đến nay, ông công tác Trường THPT Chu Văn An, Krông Pa, Gia Lai l| gi{o viên giảng dạy môn Vật Lý thuộc tổ chun mơn Hóa – Vật Lý – Cơng nghệ trường Nguyễn Trường Thọ sinh ng|y 26/08/1976 Thừa Thiên Huế Ông tốt nghiệp cử nh}n ng|nh Vật lý năm 1999 v| thạc sĩ chuyên ng|nh Vật lý Chất rắn Trường Đại học Khoa học, Đại học Huế v|o năm 2003 Ông nhận học vị tiến sĩ năm 2010 Đại học Osaka, Nhật Bản Ông công bố 15 báo ISI từ năm 2007 đến 2020, b|i b{o thuộc dang mục SCI Ông l| th|nh viên phản biện cho tạp chí Materials Science and Engineering B thuộc danh mục SCI Từ năm 2000 đến nay, ông công t{c Trường Đại học Khoa học, Đại học Huế Lĩnh vực nghiên cứu: Vật liệu sắt điện dạng m|ng mỏng v| gốm 48 ... 41 Cải tiến công nghệ nghiên cứu tính chất vật lý hệ gốm BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN (310) (220) (211) (200) (111) (100) (110) Hình cho thấy giản đồ nhiễu xạ Xray gốm BNKT? ??ZS... hợp chất bị phá vỡ, đồng hợp chất giảm 43 Cải tiến cơng nghệ nghiên cứu tính chất vật lý hệ gốm BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 với lượng bay Bi nhiều, đóng góp v|o việc giảm mật độ trung bình gốm. . .Cải tiến cơng nghệ nghiên cứu tính chất vật lý hệ gốm BNKT đồng pha tạp ZnO SnO2 µC/cm2[3] Tuy nhiên, phạm vi nhiệt độ hoạt động loại vật liệu thấp, tính chất {p điện bị nhiệt