đề tài '''' màng mỏng tio2 ''''

1 I. Màng mỏng TiO 2 1. Phương pháp chế tạo 2. Tính chất của màng 3. Ứng dụng II. Màng mỏng TiO x N y 1. Cơ chế làm giảm Eg khi pha tạp Nitơ 2. Vò trí của Nitơ trong TiO x N y 3. So sánh tính quang xú tác giữa TiO 2 và TiO x N y 2 1. Phương pháp tạo màng. Phương pháp: Solgel, phún xạ, tạo bột TiO 2 … ° Phức tạp. ° Tinh thể (193 0 C ÷250 0 C). ° Đế thông thường. ° Dễ pha tạp Nitơ. ° Màng tốt, độ bám dính cao. ° Đơn giản. ° Tinh thể (400 0 C ÷600 0 C). ° Đế bền nhiệt, không chứa K, Na… ° Khó pha tạp Nitơ. ° Màng tốt. Phún xạSolgel 3 GIỚI THIỆU Hệ magnetron không cân bằng. Hình 1: Hệ magnetron không cân bằng. 4 GIỚI THIỆU Quang xúc tác TiO 2 . ° Đặc điểm: không độc hại, xúc tác rẻ tiền, oxi hoá hoàn toàn các chất hữu cơ, có thể tái sử dụng…… ° Cơ chế OHCORHOH OHOHh OHHOH OOe 22 2 22         Hình 2: Cơ chế phản ứng quang xúc tác 5 KẾT QUẢ THỰC NGHIỆM VÀ BÀN LUẬN Xác đònh độ dày, chiết suất. Mẫu 45 T max = 90.2% T min = 68.9% Hình 3: Phổ truyền qua của màng mỏng TiO 2 được chế tạo với các thông số: h=4cm, I p =0.5A, p=13 mtorr, tỉ lệ O 2 /Ar là 0.06  d = 544nm n=2.29 6 Xác đònh cấu trúc,ứng suất, kích thước hạt bằng phương pháp nhiễu xạ tia X. 1. Cấu trúc   md  sin2 (1) 2. Ứng suất     tgv E f )( 2 1   (2) 3. Kích thước hạt   cos)2( 9.0  D (3) 7 KẾT QUẢ THỰC NGHIỆM VÀ BÀN LUẬN Hình 4: phổ nhiễu xạ tia X của màng TiO 2 với các thông số : h=4cm, I p =0.5A, t=60 phút, p=13mtorr, tỉ lệ O 2 /Ar là 0.06 d = 3.573A 0  A(101)  f = -5.9 Gpa D = 263A 0 d = 2.353A 0 A(112) (2) 8 RMS = 9.3nm O 2 /Ar là 0.08 RMS = 10.4 nm O 2 /Ar là 2 Hình 5: Ảnh AFM của màng ở O 2 /Ar là 0.08 và O 2 /Ar là 2, với RMS là độ ghồ ghề trung bình của màng 9 ° Ứng dụng: – Hiệu ứng tiệt trùng – Khả năng chống mờ Hình 6: Hiệu ứng tiệt trùng của màng TiO 2 với vi khuẩn E. Coli có màng TiO 2 không màng TiO 2 có màng TiO 2 không màng TiO 2 Hình 7: Khả năng chống mờ của màng TiO 2 10 II.Màng mỏng TiOxNy 1. Cơ chế làm giảm Eg khi pha tạp NiTơ E t N(2p)>Et O(2p) E t (Ti3d- O2p)=3.20eV E t (N2p-O2p)=0.75eV E t (Ti3d-N2p)=2.45eV Hình 8. Sơ đồ vùng năng lượng của TiOxNy [...]... Nitơ thay thế RatN=0.7A0 RatO=0.6A0 Hình 9.Vò trí của Nitơ trong TiOxNy 11 3 SO SÁNH TÍNH QUANG XÚC TÁC CỦA TiOxNy VÀ TiO2 1.Về diệt khuẩn 2.Về MB (1)Trước khi chiếu sáng (2)Sau khi chiếu sáng trên TiO2 (3)Sau khi chiếu sáng TiOxNy t = 90 phút Hình 10.So sánh khả năng diệt khuẩn của TiO2 và TiOxNy 12 Bonus 13 Bonus1 14 . của màng TiO 2 với vi khuẩn E. Coli có màng TiO 2 không màng TiO 2 có màng TiO 2 không màng TiO 2 Hình 7: Khả năng chống mờ của màng TiO 2 10 II .Màng mỏng TiOxNy 1. Cơ chế làm giảm Eg khi pha. 1 I. Màng mỏng TiO 2 1. Phương pháp chế tạo 2. Tính chất của màng 3. Ứng dụng II. Màng mỏng TiO x N y 1. Cơ chế làm giảm Eg khi pha tạp Nitơ 2 Ảnh AFM của màng ở O 2 /Ar là 0.08 và O 2 /Ar là 2, với RMS là độ ghồ ghề trung bình của màng 9 ° Ứng dụng: – Hiệu ứng tiệt trùng – Khả năng chống mờ Hình 6: Hiệu ứng tiệt trùng của màng TiO 2 với