Báo cáo hệ thống mạ pvd và các cảm biến

Nội dungGIỚI THIỆU HỆ THỐNG PVD CÁC CẢM BIẾN CÓ TRONG HỆ THỐNG VÀ YÊU CẦU KỸ THUẬT CHỌN CẢM BIẾN ÁP LIỆU... Công nghệ mạ chân không PVD là một công nghệ trong đó vật liệu được bay hơi

BÁO CÁO HỆ THỐNG MẠ PVD

VÀ CÁC

CẢM BIẾN

Nội dung

GIỚI THIỆU

HỆ THỐNG PVD

CÁC CẢM BIẾN CÓ TRONG

HỆ THỐNG VÀ YÊU CẦU KỸ THUẬT

CHỌN CẢM BIẾN ÁP

LIỆU

CÔNG NGHỆ PVD LÀ

GÌ?

Công nghệ mạ chân không PVD là một công nghệ trong đó vật liệu được bay hơi và ngưng tự để tạo thành một lớp

màng mỏng trên một vật thể Lớp phủ có thể bao gồm

gốm sứ hoặc là kim loại Sự bốc hơi trong PVD có thể được

ép buộc bằng một số phương pháp Phương pháp thường được sử dụng nhiều nhất là dùng magnetron sputtering,

trong đó vật liệu mạ được “thổi” tới vật thể bằng plasma Tất cả quá trình PVD được thực hiện dưới chân không.

NGUYÊN LÝ CỦA CÔNG NGHỆ

MẠ PVD

PVD sử dụng các nguyên tắc nhiệt động bằng cách tập

trung các dạng năng lượng tập trung vào vật liệu tiền chất rắn Vật liệu tiền chất rắn này trở nên phấn khích thông

qua bắn phá năng lượng; Phương pháp phun xạ từ, laser,

bay hơi Arc Năng lượng làm cho các liên kết bị phá vỡ

trong cấu trúc mạng tinh thể và các nguyên tử bị ion hóa

khi chúng rời khỏi vật liệu tiền chất Vật liệu bị ion hóa

được giải phóng và được chuyển bằng Gradient áp lực đến nơi nó được lắng đọng dưới dạng một màng mỏng trên vật liệu nền.

SƠ ĐỒ CỦA HỆ THỐNG

Thông số Giá trị Nguyên lý cảm biến Cặp nhiệt điện Dải đo -200oC tới 500oC Chiều dài que đo Từ 10mm tới 2000mm Đường kính que đo Từ 3mm tới 27mm

Tiêu chuẩn bảo vệ IP65 trở lên Tiêu chuẩn chống cháy Ex

Sai số Từ 0.15oC tới 0.3oC

CẢM BIẾN

NHIỆT ĐỘ

Dùng để đo nhiệt độ của

điện trở đốt

và nhiệt độ của dầu trong

tháp khuếch tán

CẢM BIẾN

ÁP SUẤT

Áp dụng nguyên lý giải

phóng Ion để đo áp suất

không khí

CẢM BIẾN

ÁP SUẤT

Áp dụng nguyên lý truyền

nhiệt

Cảm biến dùng nguyên lý truyền nhiệt Cảm biến dùng nguyên lí Ion

Nguyên lý

làm việc Lợi dụng nguyên lý truyền nhiệt trong môi trường Mật độ khí (áp suất) tỉ lệ với nhiệt lượng truyền đi Dùng nguyên lý điện ly, catot được gia nhiệt, lượng Ion dịch chuyển từ catot tạo ra dòng điện được đo bởi các đồng hồ đo Ampe Từ đó thông

qua tỉ lệ giữa các đồng hồ đo mà ta biết được áp suất

Dải đo áp

suất

Áp suất đo từ 10-4Torr tới 103Torr Áp suất từ 10−10 to 1 mbar

Vật liệu Cần dùng các kim loại quý như bạch kim để tránh các vấn

đề về oxi hoá

Vật liệu dùng làm dây tóc thường là Thoria, Iridium, Tungsten,…

Ưu điểm Rất dễ sử dụng và có thời gian dùng lâu, không gặp sự cố

bởi vì chúng không có bộ phận chuyển động Ngoài ra hiệu quả kinh tế cao

Dải đo lớn, độ nhạy không đổi với các loại khí nhất định và đa dạng ứng dụng Phản ứng nhanh khi có sự thay đổi của áp suất Có khả năng dùng trong điều khiển quá trình và điều khiển từ xa

Nhược điểm Dễ bị ô nhiễm dùng trong các hệ thống bơm dầu Và trong

trường hợp này thì cần lắp đặp sao cho giảm tích tụ dầu trong ống Có thể cần hệ thống lọc sàng phân tử để kéo dài tuổi thọ

Giá thành cao và mạch điện phức tạp Với các loại khí khác nhau cần phải calip lại, có thể phá huỷ dây tóc bởi các khí ga và nhiệt độ Dây tóc có thể bị đốt cháy nhanh khi tiếp xúc với không khí Làm ô nhiễm khí đo

SO SÁNH HAI LOẠI CẢM

BIẾN ÁP SUẤT

CHỌN CẢM BIẾN ÁP

SUẤT

Chọn cảm biến ZJ-27/Φ15.5 Φ15.5

CHỌN CẢM BIẾN ÁP

SUẤT

Chọn cảm biến ZJ-27/Φ15.5 Φ15.5

CHỌN CẢM BIẾN ÁP

SUẤT

Chọn cảm biến ZJ-27/Φ15.5 Φ15.5

TRUYỀN DỮ LIỆU

Controller ZDF/Φ15.5 5210BYV01

TRUYỀN DỮ LIỆU

Controller ZDF/Φ15.5 5210BYV01

KẾT NỐI

THU THẬP

PHÂN TÍCH

ĐƯA RA HÀNH ĐỘNG

XỬ LÝ DỮ

LIỆU

KHUẾCH ĐẠI TÍN HIỆU

CHUYỂN ĐỔI TÍN HIỆU

LỌC NHIỄU

LƯU TRỮ DỮ LIỆU

XỬ LÝ DỮ

LIỆU

THANK YOU