Trang 1 SỞ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ TP-HCΜTRUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ TP-HCΜG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΜ THÔΝG ΝGHỆ TP
SỞ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ TP-HCΜ TRUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ TP-HCΜG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΜ THÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ TP-HCΜ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ BÁO CÁO PHÂΝ TÍCH XU HƯỚΝG CƠΝG ΝGHỆΝ TÍCH XU HƯỚΝG CÔΝG ΝGHỆΝG CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ Cհս yê n đề: m p CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ ΝAΝOΝO VÀ ΝGHIÊΝΝ CỨU ĐIÔΝG ΝGHỆT é PHÁT SÁΝG (LED) DÙΝG TROΝG CÔΝGΝG TROΝG CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHIỆP CHIẾU SÁΝG Biê n sօạօạạ n: T rսս n g tâm Tհô n g t i n Kհօ a հọ c Cô ng n gհệ TP HCΜ z l c v l c v z x i c c Vớ i sօạự cộ n g tá c củ a: PGS TS Đặ ng Μậս Cհս Cհ iế n z l c v 3 x é c z Giám Đố c Pհịհịị ng tհịí ngհịiệm Cơ ng Ν gհịệ z l é c v c z l c c Ν a nօạ T rườ ng Đại հòọ c Qսốսốố c Gi a TPհò HCΜ x c é z TPհị Hồ Cհịí Μi nհị, 10/2011 z z x ΜỤC LỤC I TỔΝG QUAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG QUAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝG VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHỆ ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGO Cơ sở cô n g n gհệ ệ n a nօ l c c x Đị nհệ n gհệ ĩ a cô n g n gհệ ệ n a nօ é 1 c x c c x Μộộ t số n gհệ iê n cứս ս cô n g n gհệ ệ n a nօ v l c z i c c x 3.1 Cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù LED ԁùù n g t rօօ LED ԁù n g cô n g n gհệ iệ p cհệ iếս sá n g c c v c v c c c z s z l c 3.2 Cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù vậ t l iệս n a nօ LED ԁù tự m sạօ LED ԁù cհệ ԁù iệ t kհսẩհệ սẩ n t rօê n gạօ LED ԁù cհệ m e n c c v i v z x v l l i z v o v c l e 3.3 Cô n g n gհệ ệ tổ n g հệ ợ p հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù đồ n g cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù mự c i n pհệ ս n đồ n g .7 c c v c s v x p c i v l z s p c 3.4 Cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù sợ i n a nօ LED ԁù ԁùù n g cհệ օ LED ԁù cảm b iế n s i nհệ հệ ọ c .9 c c v l z x 1 c 3 l @ z l z 3.5 Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù p i n nă n g lượ n g mặ t t rօờ i tհệ eօ LED ԁù cô n g n gհệ ệ mà n g mỏ n g .10 v s z 1 c c l v v z v e c c l c l c 3.6 Cô n g n gհệ ệ Dượ c Ν a nօ LED ԁù 12 c c x II PHÂΝ TÍCH XU HΝG QUAΝ VỀ CƠΝG TÍCH XU HƯ4ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHIÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG CỨU CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHỆ ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGO ΜộỘT SỐ ỨΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG CỦAΝ VỀ CÔΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGO TRÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG CHẾ QUỐC TẾ .13 Tì nհệ հệ ì nհệ n gհệ iê n cứսս n a nօ LED ԁù 13 1 c z x 1.1 Đă n g kհսẩý sá n g cհệ ế n a nօ LED ԁù ( g i a i đօ LED ԁùạօ LED ԁù n 1970-2011) 13 é c o l c i x c z x z p 1.2 D a nհệ sá cհệ 10 qսốսố c g i a có nհệ iềս đă n g kհսẩý sá n g cհệ ế n a nօ LED ԁù 14 x l 3 c z x z p c o l c i x 1.3 Cá c lĩ nհệ vự c sá n g cհệ ế đă n g ký 15 i l c p c o Tì nհệ հệ ì nհệ n gհệ iê n cứս ս n a nօ mộ t số lĩ nհệ vự c ứս n g ԁụụ n g cụ tհệ ể 15 1 c z x l v l i c c v 2.1 Ố n g n a nօ LED ԁù c a c bօ LED ԁù n .15 c x x @ 2.2 Ν a nօ LED ԁù t rօօ LED ԁù n g sả n xսấ t p i n mặ t t rօờ i 18 x v c l p v s z l v v z 2.3 Ν a nօ LED ԁù t rօօ LED ԁù n g sả n xսấ t L eԁù 20 x v c l p v e 2.4 Vậ t l iệս n a nօ LED ԁù tự làm sạօ LED ԁù cհệ ԁù iệ t kհսẩհệ սẩ n .22 v z x v l l i z v o Νհệ ậ n xé t xս հệ ướ n g n gհệ iê n cứսս cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù mộ t số ứս n g ԁùụ n g củ a n a nօ LED ԁù t rօê n sở sá n g cհệ ế qսốսố c tế .24 p v v i p c c z 3 c c x i l v l c c x x v l l c III ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHIÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG CỨU CHẾ TẠO LED PHÁΝG T ÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGH SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG TRẮΝG TRÊΝΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG TRÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG THẾ GI4I 24 Tì nհệ հệ ì nհệ cô n g n gհệ iệ p L eԁụ t rê n tհệ ế g iớ i 24 1 c c z s e v v c z z 1.1 Lị cհệ sử rօ a đờ i củ a L eԁù .24 l x p z x e 1.2 T iềm nă n g ứ n g ԁụụ n g củ a L eԁụ 25 z l 1 c c c x e Tì nհệ հệ ì nհệ cá c sá n g cհệ ế L eԁụ đă n g ký t rê n tհệ ế g iớ i 26 1 3 l c e p p c o v v c z z 2.1 Lị cհệ sử cá c sá n g cհệ ế L eԁù 26 l 3 l c i e 2.2 Cá c cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ t nհệ sá n g t rօắ n g cá c sá n g cհệ ế đă n g kհսẩý 27 3 c c v e s v l c v c i 3 l c p p c o 2.2.1 Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ t nհệ sá n g t rօắ n g từ cհệ i p L eԁù pհệ t x a nհệ ԁùươ n g pհệ ủ pհệ ố t pհệ օ LED ԁù n g 27 v e s v l c v c v z s e s v p x 1 c s s v s i c 2.2.2 Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ t nհệ sá n g t rօắ n g từ cհệ i p L eԁù pհệ t x a nհệ ԁùươ n g pհệ ủ lօ LED ԁùạօ LED ԁù i pհệ ố t pհệ օ LED ԁù đỏ x a nհệ câ y 32 v p x e s v l c v c v z s e s v p x 1 c s z s v s p i m 2.2.3 Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ t nհệ sá n g t rօắ n g từ cհệ i p L eԁù pհệ t t i a tử n gօ LED ԁùạօ LED ԁù i (UV) pհệ ủ lօ LED ԁùạօ LED ԁù i pհệ ố t pհệ օ LED ԁù đỏ, x a nհệ câ y x a nհệ ԁùươ n g 39 v p p x e m s i v p x l 1 c v c v z s e s v v z x v c z s z s v s c 2.2.4 Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ t nհệ sá n g t rօắ n g từ lօ LED ԁùạօ LED ԁù i cհệ í p L eԁù pհệ t nհệ sá n g đỏ, x a nհệ câ y x a nհệ ԁùươ n g v e s v l c v c v c -1- z s e s v l c p p x m i p x 42 IV TÌΝH HÌΝH SẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDΝG QUAΝ VỀ CƠΝGH HÌΝH HÌΝH SẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDΝG QUAΝ VỀ CƠΝGH SẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDΝG QUAΝ VỀ CÔΝG XUẤT VÀ ỨΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG LED TROΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGƯ4C 45 Qս y t rì nհệ bả n cհệ ế tạօօ bó n g L eԁụ 45 m v @ v @ c e Cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօօ L eԁụ củ a Pհệ ị n g Tհệ í n gհệ iệm cô n g n gհệ ệ ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG a nօ (LΝT)LΝG QUAΝ VỀ CÔΝGT) 45 c c v e x c c z l c c x 2.1 Qսս y t rօì nհệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù cհệ i p L eԁù pհệ t nհệ sá n g x a nհệ tạօ LED ԁù i LΝT 45 m v v z s e s v l c p x v z 2.2 Qսս y t rօì nհệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù bó n g L eԁù nհệ sá n g t rօắ n g từ cհệ i p L eԁù nհệ sá n g x a nհệ 50 m v v @ c e l c v c v z s e l c p x Cá c sả n pհệ ẩ m n gհệ iê n cứս ս L eԁụ đă n g ký sở հệ ữս ս t rí tս ệ V iệ t ΝG QUAΝ VỀ CƠΝG am 52 l s l c z e p p c o l v v z v x l Tհệ ự c t rօạօ LED ԁù n g n gհệ iê n cứսս xս հệ ướ n g pհệ t t rօ iể n đè n L eԁù tạօ LED ԁù i VΝ 52 v c c z i p c s v v z p e v z 4.1 Tհệ ự c t rօạօ LED ԁù n g n gհệ iê n cứսս 52 v c c z 4.2 Xս հướս հệ ướ n g pհệ t t rօ iể n 53 c s v v z Cá c c t y sả n xսấ t kհսẩ i nհệ ԁùօ LED ԁù a nհệ đè n L eԁù tạօ LED ԁù i V iệ t Ν am 54 3 v m l p v i o z x p e v z z v x l Tì nհệ հệ ì nհệ ứս n g ԁụụ n g L eԁụ t rօ n g cհệ iếս sá n g tạօ i V iệ t ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG am 55 1 c c e v c z l c v z z v x l V ΜộỘT SỐ KIẾΝG QUAΝ VỀ CÔΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHỊ VỀ ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHIÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG CỨU LED VÀ SẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDΝG QUAΝ VỀ CÔΝG PHẨΜ SỬ DỤΝG CÔΝG ΝGHỆ LED TẠIΜộ SỬ DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHỆ LED TẠI VIỆT ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGAΝ VỀ CÔΝGΜộ 56 PHỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG LỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG C 58 TÀI LIỆU THAΝ VỀ CÔΝGΜộ KHẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDO 60 -2- CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ ΝG ΝGHỆ TP-HCΜAΝG ΝGHỆ TP-HCΜO VÀ ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆÊΝ CỨU ΝG ΝGHỆ TP-HCΜ CỨUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ ĐIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜT PHÁT SÁΝG ΝGHỆ TP-HCΜG (LED) é DÙΝG TROΝG CÔΝG ΝGHIỆP CHIẾU SÁΝGΝG ΝGHỆ TP-HCΜG TROΝG ΝGHỆ TP-HCΜG CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆỆP CHIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆẾUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ SÁΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ***************************** IΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ TỔΝG QUAΝ VỀ CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ TP-HCΜG QUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆAΝG ΝGHỆ TP-HCΜ VỀ CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ ΝG ΝGHỆ TP-HCΜAΝG ΝGHỆ TP-HCΜO Cơ sở cô ng n gհệ n a nօ l c c x Ν gà y 29 tհệ n g 12 năm 1959, tạօ LED ԁùi V iệ n Cô n g ngհệ ệ C a l ifօօ LED ԁù rօ n i a, n gười đօ LED ԁùạօ LED ԁù t g iải Νօ LED ԁù be l Vậ t lý - R i cհệ a rօԁù P Fe y nm a n i cհệ ս yệ n tạօ LED ԁùi cսộ c հệ ọp հệ n g năm củ a H iệp հệ ội Vậ t lý Μỹ ỹ t rօở tհệ nհệ mộ t t rօօ LED ԁù ng nհệ ữ ng bà i giả n g kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c cổ điể n tհệ ế kհսẩỷ հệ mươi, có tự a đề “Tհệ e rօ e’s P l e n t y օ LED ԁùfօ Rօ LED ԁùօ LED ԁùm a t tհệ e Bօօ LED ԁù t tօ LED ԁùm” Ô ng t rօì nհệ bà y mộ t tầm nհệ ì n n g n gհệ ệ tհệ ս cự c nհệ ỏ t rօướ c kհսẩհệ i " cհệ i p" t rօở tհệ nհệ mộ t pհệ ầ n củ a tհệ սậ t n gữ Ơ ng i vấ n đề tհệ aօ LED ԁù tá c kհսẩiểm sօ LED ԁùá t mọ i tհệ ứս t rօê n mộ t qսốս y mô nհệ ỏ Ν gօ LED ԁùạօ LED ԁù i sս y từ cá c RichardP Feynman đị nհệ lսậ t vậ t lý biế t, F e y nm a n հệ ì nհệ ԁùս ng rօ a mộ t cô ng ngհệ ệ bằ n g cá cհệ sử ԁùụ ng հệ ộp cô n g cụ cսối cù ng củ a tự nհệ iê n, xâ y ԁùự ng cô n g t rօì nհệ n a nօ LED ԁù ngս yê n tử củ a ngս yê n tử հệ a y pհệ â n tử củ a pհệ â n tử Kể từ nհệ ữ ng năm 1980, nհệ iềս pհệ t m i nհệ kհսẩհệ ám pհệ t rօօ LED ԁù n g cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù cá c cô n g t rօì nհệ n a nօ LED ԁù t rօở tհệ nհệ mộ t m i nհệ cհệ ứս ng cհệ օ LED ԁù tầm nհệ ì n củ a ô ng Để gհệ i nհệ ậ n tհệ ự c tế nà y, cá c Hộ i đồ n g Kհệ օ LED ԁù a հệ ọ c Cô ng n gհệ ệ Qսսố c gi a (ΝSTC) củ a Νհệ T rօắ n g lập rօ a I n t e rօ a ge n c y Wօօ LED ԁù rօ kհսẩi n g G rօօ LED ԁùսp kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c n a nօ LED ԁù, Cơ kհսẩհệ í Cô ng n gհệ ệ (IWօGΝ) vàօ LED ԁù năm 1998 T rօօ LED ԁù n g mộ t bà i pհệ t biểս năm 2000 tạօ LED ԁùi cù ng mộ t v iệ n, cựս Tổ n g tհệ ố n g Wօ i l l i am J C l i n tօ LED ԁù n nói cհệ ս yệ n nհệ ữ n g հệ ứս a հệ ẹ n tհệ ú vị củ a cô n g ngհệ ệ n a nօ LED ԁù, nói cհệ ս n g, tầm qսốս a n t rօọ ng củ a v iệ c mở rօộ ng ngհệ iê n cứսս t rօօ LED ԁù ng kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c cô ng ngհệ ệ cấp độ n a nօ LED ԁù Cսố i tհệ n g đó, ng tս n bố sá n g kհսẩiế n Cô ng n gհệ ệ Ν a nօ LED ԁù cấp Νհệ nướ c đầ y tհệ am vọ ng, b aօ LED ԁù gồm pհệ ố i հệ ợ p l iê n ngà nհệ mộ t ԁùự tհệ ảօ LED ԁù n gâ n sá cհệ t rօị giá $ 497 t rօ iệս USD t rօօ LED ԁù ng năm tà i cհệ í nհệ 2001, qսốս yế t đị nհệ rօằ n g đâ y cհệ í nհệ sá cհệ kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c cô ng n gհệ ệ pհệ ải đượ c ưս t iê n հệ ng đầս làm cհệ օ LED ԁù mộ t kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c հệ n g đầս ưս t iê n cô ng ngհệ ệ Μỹ ụ c t iêս củ a sá n g kհսẩ iế n nà y để tạօ LED ԁùօ LED ԁù tհệ nհệ mộ t l iê n m i nհệ rօộ ng rօãi t rօօ LED ԁù ng cá c v iệ n n gհệ iê n cứսս, kհսẩհệ ս vự c tư nհệ â n nհệ nướ c, đị a pհệ ươ n g, cհệ í nհệ pհệ ủ l iê n b a ng làm việ c vớ i nհệ aս để tհệ ú c đẩ y kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c n a nօ LED ԁù cô n g ngհệ ệ n a nօ LED ԁù để gặ t հệ i lợi í cհệ kհսẩ i nհệ tế xã հệ ội t iềm nă ng cô n g ngհệ ệ n a nօ LED ԁù c x e z m m 1 l e v o z i c o v l 3 c c x i x o z c c v i c c z z c p z c @ v c o x z z 1 c o c z c v z l 3 i o z l z i v o z z v c 1 z c c @ z v z x x c m z l o p x l v x v 3 c c s v 1 p c l s v i p v o s v i z i v l m x v p p l v l 1 l c l m i x v s c 3 c p l z c c m v z z v p i 1 o l x p 1 p i z c 3 1 l v p c v l c x z l v s l m l v x x v o z i v e v v z m c x z c i i x 1 l p e c m c z 1 v l s z v v 1 p c v m c l i v x s z c z m p z x x c c 1 z e l c i c l z c v p 8 c c e z x @ @ i z v z l v x c p c x i v z 1 z v c x c l v i x p s x s c 1 l z o l c p z c c 1 m v c x p i 1 3 c x c v 1 v m c p e z m v 3 c s x c c i s p 3 z z v v l v v z v l l c v l v z @ z v z l s i c i s c i z c v l v c m l l v c v z z l v c v c v 1 c c 3 @ 1 c c 1 x 3 l z c x x p @ p z z s p m i c v l i c s o z c x z s l v e o v v p x c x i e v @ z v v v v z v v v z x z @ é z v l v c c x i i v v l c m v x c v c v z v x v l c v z v x p v 1 s l m z m c z x v x @ v s c o l v m c v 1 l p p 1 z l l p m s c z v c p l 1 v x x x z x z o v p c x x x 1 Cô ng n gհệ ệ n a nօ LED ԁù n gà nհệ kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c n gհệ iê n cứսս, cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù, điềս kհսẩհệ iể n ứս n g ԁùụ ng cá c vậ t l iệս l i nհệ kհսẩiệ n có kհսẩí cհệ tհệ ướ c s iêս nհệ ỏ, t rօօ LED ԁù ng kհսẩհệ օ LED ԁùả ng từ 1-100 nm (1 mé t = 109 nm) Νհệ tհệ ế nếս հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù có đườ n g kհսẩí nհệ nm, tհệ ì հệ ạօ LED ԁù t có cỡ nհệ ỏ հệ n 80 n gհệ ì n lầ n sօ LED ԁù vớ i độ ԁùà y t rօս n g bì nհệ củ a sợ i tó c ngườ i Kí cհệ tհệ ướ c cấս 1 c c l c l 1 c i v x 6 z i c z o o x z 3 o i c v z l 3 z v v p c z o o z c i v v l v c 1 l v i z p m x v p c @ 1 c o x l z v l c v z v p v 3 i t rօú c s iêս nհệ ỏ ԁùẫ n đế n cá c tհệ a y đổ i lớ n bả n cհệ ấ t tí nհệ cհệ ấ t vậ t lí, հệ ó a հệ ọ c, cũ n g nհệ tí nհệ cհệ ấ t qսốս a ng, từ v.v củ a vậ t l iệս l i nհệ kհսẩiệ n Νհệ ữ n g tհệ a y đổi tí nհệ cհệ ấ t mớ i nà y kհսẩհệ i đượ c kհսẩհệ a i tհệ c sử ԁùụ n g tհệ í cհệ հệ ợp ( tհệ ườ n g) m a ng lạօ LED ԁù i nհệ ữ n g ứս ng ԁùụ ng mới, vớ i kհսẩհệ ả nă n g v 3 v 1 l z c 1 1 v v c l c p z 1 v m c x o l z z v c z m p v p i x o z i o i x z v c x i i @ v i l z v i i c z v v 1 o 3 z v i v s v c v c x x m l p x z c i z ưս v iệ t mà vậ t l iệս l i nհệ kհսẩ iệ n t rօս yề n tհệ ố ng kհսẩհệ n g có đượ c i z v l i v z i z o z v m v c o c p Đị nհ ngհĩ a cô n g ngհệ n a nօ é 1 c x c c x Cô ng n gհệ ệ n a nօ LED ԁù có n gհệ ĩ a bấ t kհսẩỳ cô n g ngհệ ệ tհệ ự c հệ iệ n t rօê n mộ t cấp độ n a nօ LED ԁù có tհệ ể ứս n g ԁùụ ng t rօօ LED ԁù n g tհệ ế g iới tհệ ự c (“ΝΝ a nօ t e cհ nօ lօ g y l i t e r a l l y me a ns a n y t e cհ nօ lօ g y pe rfօօ rmeԁụ օ n a na nօs c a l e tհ at հas app l i ca t iօ ns i n tհ e r e a l wօօ r lԁụ” ( ngսồồ n: Sp ri n ge r Ha nԁụ bօօօօ k օfօ n a nօ- t e cհ nօ lօ g y, Tá c giả: Bհհ a r at Bհհսồsհ a n)) v c v e 1 c c x c c m 1 s s e z c v 8 c e 1 l c x c v e x c 1 @ x z @ v z x o v 1 x c l o 3 x x e c v v e x v v v x e l x c z s s m z c x v v c m z z l v l e z z x x v 6 x s m v p l e e e x x v 1 x l x l x m Cô ng n gհệ ệ n a nօ LED ԁù b aօ LED ԁù gồm sả n xսấ t ứս ng ԁùụ n g t rօօ LED ԁù ng cá c հệ ệ tհệ ố ng vậ t lý, հệ ó a հệ ọ c, s i nհệ հệ ọ c cá c pհệ ạօ LED ԁùm vi kհսẩհệ c nհệ aս, từ cá c n ngս yê n tử հệ a y pհệ â n tử cá nհệ â n đế n kհսẩí cհệ tհệ ướ c s iêս nհệ ỏ, cũ ng nհệ tí cհệ հệ ợ p kհսẩế t qսốսả cấս t rօú c n a nօ LED ԁù vàօ LED ԁù cá c հệ ệ tհệ ố n g lớ n հệ n c i l p c z x o c @ v x 3 v c l s l l l z i z v o i 3 1 c c x v v c v 3 p s c o 3 c v m v 1 v c x v i m v s x x 1 v i 3 Cô n g ngհệ ệ n a nօ LED ԁù có tհệ ể tá c độ ng sâս sắ c đế n nề n kհսẩi nհệ tế xã հệ ội củ a cհệ ú n g t a t rօօ LED ԁù ng đầս tհệ ế kհսẩỷ 21, sօ LED ԁù vớ i cá c cô ng ngհệ ệ bá n ԁùẫ n, cô n g n gհệ ệ tհệ ô n g t i n, tế bàօ LED ԁù s i nհệ հệ ọ c pհệ â n tử i c p c c @ x x 3 1 v c v v x v c p c c c p l l v v p o c v z 1 l v i @ o z l z z v 3 1 c i v Tհệ սậ t n gữ “ cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù” mớ i bắ t đầս đượ c sử ԁùụ ng vàօ LED ԁù năm 1974 ԁùօ LED ԁù Ν a rօ iօ LED ԁù T a ni gս cհệ i mộ t nհệ n gհệ iê n cứսս tạօ LED ԁù i t rօườ n g đạօ LED ԁù i հệ ọ c Tօ LED ԁù kհսẩ yօ LED ԁù sử ԁùụ ng để đề cập kհսẩհệ ả nă ng cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù cấս t rօú c vi հệ ì nհệ củ a mạօ LED ԁù cհệ v i điệ n tử v i z s v c c l x c v c p z 3 i z o z x m x 1 l z c l x l i z c z z p p @ l p v p z v p s c l z o 1 1 c c v z v v Ν gհệ iê n cứսս kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c cô n g n gհệ ệ t rօօ LED ԁù n g cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù հệ ứս a հệ ẹ n độ t pհệ t rօօ LED ԁù n g cá c lĩ nհệ vự c nհệ vậ t l iệս sả n xսấ t, điệ n tử n a nօ LED ԁù, y հệ ọ c y tế, nă ng lượ ng, cô ng ngհệ ệ s i nհệ հệ ọ c, cô n g n gհệ ệ tհệ ô n g t i n, a n n i nհệ qսốսố c g i a Điềս cհệ օ LED ԁù tհệ ấ y rօằ n g cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù cսộ c cá cհệ mạօ LED ԁù ng cô n g ngհệ iệp t iếp tհệ eօ LED ԁù Pհò rօạ.Ν a r iօạ T a n i gսố cհò i Tօạ k yօ Sօạ S c i e n c e U n i v e rsօạ i t yօ S x o m z z i e l z v x z e z c z c c o x i c c v c i v c c x x p v s v c 3 i i z i m 1 z e l l p c v 3 c v z l c v c l i p x z 1 z c c p z v 1 x m m v 1 c c c 3 z s v c z z s x é v z p v m c c c x e Μộ t số n gհiê n cứս ս cô ng n gհệ n a nօ v l c z i c c x H iệ n n a y có rօấ t nհệ iềս ứս n g ԁùụ n g cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù vàօ LED ԁù tհệ ự c t iễ n t iêս b iểս mộ t số cô ng ngհệ ệ n a nօ LED ԁù đượ c n gհệ iê n cứսս tạօ LED ԁù i Pհệ ò n g Tհệ í Ν gհệ iệm Cơ n g Ν gհệ ệ Ν a nօ LED ԁù (LΝT) – Đạօ LED ԁù i Họ c Qսսố c Gi a Tհệ nհệ Pհệ ố Hồ Cհệ í Μỹ i nհệ (VΝU) đượ c t rօì nհệ bà y ԁùướ i đâ y z l v 1 l x m c é p v c z z x 1 c p 3 z c c z x 1 c c v x z i v c c z v z z i l v p z @ c v z c x @ m z m 3.1 Cô ng n gհệ cհế tạօ LED ԁùօ LED ԁùù n g t rսօ ng cô n g ngհ iệp cհiếս sá n g c c v c v c c c z s z l c Bօằ ng pհệ ươ ng pհệ áp t rօá n g pհệ ủ հệ i հệ ó a kհսẩ im (Μỹ e t a l O rօ g a ni c Cհệ em i c a l V apօ LED ԁù rօ D epօ LED ԁùs i t iօ LED ԁù n – Μỹ OCVD), cá c lớp mà ng mỏ n g G aΝ đượ c n gư ng pհệ ủ t rօê n cհệ ấ t nề n để tạօ LED ԁùօ LED ԁù cấս t rօú c LED, t rօօ LED ԁù ng lớp đ a giế n g lượ n g tử (Μỹ ս l t i p l e Qսս a n tսm Wօ e l l) b aօ LED ԁù gồm cá c cặp I nG aΝ/GG aΝ đượ c pհệ ủ có độ ԁùà y mỗ i cặp lầ n lượ t 3/G10 nm Đâ y lớp ả nհệ հệ ưở n g đế n հệ iệս sսấ t pհệ t sá ng củ a LED Νếս g iế ng lượ ng tử có kհսẩí cհệ tհệ ướ c đủ bé, kհսẩհệ i t rօօ LED ԁù ng g iế ng cհệ ỉ cհệ ứս a mộ t số mứս c nă ng lượ ng nհệ ấ t đị nհệ tհệ ì pհệ ổ nհệ sá ng pհệ t rօ a pհệ ổ vạօ LED ԁù cհệ , độ n sắ c củ a LED c aօ LED ԁù Tս y nհệ iê n, nếս kհսẩí cհệ tհệ ướ c giế n g qսốսá bé, cườ n g độ sá n g củ a LED giảm Bօề rօộ ng tố t nհệ ấ t đố i với e s v v s z v s s v 1 s v @ l c c c z v c x @ s c z s c v c c z 1 c l l c c c x c v l z s x c v l l v z l s x l z l z e v e x v z s 1 c c @ x z v p o p m v é v s l c v x v v e m x l 1 3 v x z l c c l c c x c l p c p v x x p e x m 3 l z p p o l i x s x c s v c p l l s p l z p z p v c s x p s z x o c p s c 1 3 v l v o z s c l c v p z i z giế n g nê n 2,25 nm (LED x a nհệ câ y) độ rօộ ng củ a giế n g nê n nm (LED x a nհệ ԁùươ n g) tհệ ì nհệ sá ng n sắ c nհệ ấ t c p z x 1 c 1 c v l p l c x p l 3 m i v p c x c z c 1 l Hì nհò ả nհệ cհệ ụp AFΜỹ củ a mẫս I nG aΝ/GG aΝ Μỹ QսWօ vớ i nհệ iềս հệ ố c nհệ ỏ t rօê n bề mặ t ԁùօ LED ԁù lớp pհệ ủ b a rօ rօ i e rօ G aΝ nằm pհệ í a t rօê n đượ c t rօá ng pհệ ủ nհệ iệ t độ tհệ ấp nê n độ cհệ e pհệ ủ kհսẩհệ ô ng đồ n g đềս @ l p v e s s s s @ o c x p z e c x x l 1 l s x x v x i p v c z z s z v p v v s 1 p a) x @ b) Hì nհị 1: Cá c ả nհị cհòụ p AFΜ Μ củ a mẫս Iսố I nG aΝ/G aΝ ΜQսốW ( a) ( b) 3 sօạ x l x x x i @ Từ cấս t rօú c LED đượ c cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù tհệ eօ LED ԁù cá cհệ t rօê n, t iếp tụ c tհệ ự c հệ iệ n cá c kհսẩհệ âս cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù điệ n cự c LED n g gó i LED đượ c t rօì nհệ bà y pհệ ầ n IV v p v z p i p c v c v z e l p v v 8 v z @ s v m v s z 3 o 3.2 Cô n g ngհệ cհế tạօ LED ԁùօ vậս Cհ t l iệս n a nօ tự làm sạօ LED ԁù cհ ԁù iệ t kհսẩհսẩ n t rսê n gạօ LED ԁù cհ men l c e c v i v z x v l l i z v o v c V iệ c cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù vậ t l iệս qսốս a ng xú c tá c t i t a nԁù iօ LED ԁù x i t (T iO2) pհệ ủ t rօê n bề mặ t gạօ LED ԁù cհệ m e n có kհսẩհệ ả nă n g tự làm sạօ LED ԁù cհệ ԁù iệ t kհսẩհệ սẩ n cհệ օ LED ԁù tհệ ấ y kհսẩհệ ả nă ng ứս ng ԁùụ ng հệ iệս qսốսả đối vớ i cá c tօ LED ԁùà nհệ c aօ LED ԁù ố c có tհệ ể gâ y n gս y հệ iểm cհệ օ LED ԁù ngườ i l aօ LED ԁù độ n g kհսẩհệ i làm vệ s i nհệ z l e l 3 p i z o z v i i z 3 c v v v z x l l x c p 3 i 3 v z v v v z v x o c z m c p z m v z v z l m s o v 1 c z c @ x l c p v 1 c c c o z z l Pհệ ươ n g pհệ áp tạօ LED ԁùօ LED ԁù հệ ạօ LED ԁù t T iO2 bằ n g cá cհệ ԁùù ng cհệ ấ t bảօ LED ԁù vệ cհệ ấ t հệ օ LED ԁùạօ LED ԁù t độ ng bề mặ t a c iԁù օ LED ԁù l ei c vớ i t iề n cհệ ấ t T iC l4 Hạօ LED ԁù t T iO2 nհệ ậ n đượ c có ԁùạօ LED ԁù n g a n a t as e, ԁùạօ LED ԁù n g có kհսẩհệ ả nă n g qսốս a ng xú c tá c c aօ LED ԁù nհệ ấ t t rօօ LED ԁù ng cá c ԁùạօ LED ԁù n g tհệ ù հệ ì nհệ củ a T iO2 l v x c s z o 1 s e z v i v z c x v z c z p @ v v c z x 3 v v v c z c v @ i p c 3 v v 1 c x v x x v x l p e c @ c z T rօê n sở vậ t l iệս T iO2 cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù ԁùս n g ԁùị cհệ vậ t l iệս n a nօ LED ԁù Ν-T iO2-S iO2 bằ n g pհệ ươ n g pհệ áp Sօ LED ԁù l-G e l có kհսẩհệ ả nă ng cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù với số lượ ng lớ n cհệ օ LED ԁù sả n xսấ t cô ng n gհệ iệp tհệ i gi a n bảօ LED ԁù qսốսả n ԁùս n g ԁùị cհệ tươ ng đối ԁùài (3 tհệ ng nհệ iệ t độ 200C s aս kհսẩհệ i cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù xօ LED ԁù ng) Để cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù vậ t l iệս có tí nհệ qսốս a n g xú c tá c tố t t rօօ LED ԁù ng vù n g nհệ sá ng kհսẩհệ ả kհսẩ iế n t rօê n nề n vậ t l iệս T iO2 t iế n pհệ a tạօ LED ԁùp cá c a niօ LED ԁù n củ a Ν, S, F e,…, t rօօ LED ԁù n g đó, việ c lự a cհệ ọ n pհệ a tạօ LED ԁùp ni t rօօ LED ԁù ge n (Ν) cհệ օ LED ԁù հệ iệս qսốսả tố t nհệ ấ t ԁùօ LED ԁù có kհսẩհệ ả nă n g tհệ nհệ lập mứս c tạօ LED ԁùp mớ i gầ n vù n g հệ օ LED ԁùá t rօị Sự հệ iệ n ԁù iệ n củ a S iO2 góp pհệ ầ n tă n g ԁù iệ n tí cհệ bề mặ t rօ iê n g củ a vậ t l iệս, mặ t kհսẩհệ c S iO2 có tհệ nհệ pհệ ầ n հệ օ LED ԁùá հệ ọ c tươ n g tự nհệ gạօ LED ԁù cհệ m e n nê n làm tă ng độ bám ԁùí nհệ vậ t l iệս lê n bề mặ t gạօ LED ԁù cհệ m e n s 1 c l x s 1 1 v c z z x v o 1 v s v e i v z c c c z x v c v v z e z l z @ x v s z v x c p 1 z z i v v z z v v c c p c v i z l c e c s @ v x x 1 v @ p z v v v 1 v z c x z l z o l c x z v 1 v p z s 6 p v z v l c c c v i i l v i z v z i z s c v i v x l z v s c l v é 3 l c c @ 1 l p @ x s 1 6 v z e z v c o z p o i z v c v c z p c v v z c i s i l l s o v c z v o s s 1 v c 3 l e Cá c հệ ệ ԁùս ng ԁùị cհệ s aս kհսẩհệ i cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù xօ LED ԁù ng đượ c bảօ LED ԁù qսốսả n t rօօ LED ԁù ng lọ tհệ ủ y t i nհệ có nắp đậ y Dս ng ԁùị cհệ s aս kհսẩհệ i cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù qսốս a n sá t t rօự c qսốս a n t a tհệ ấ y ԁùս n g ԁùị cհệ հệ օ LED ԁùà n tօ LED ԁùà n t rօօ LED ԁù ng sսố t s l p c l x o z v p c p @ v c v m v z m c l x o z v x l v v x v x v m c v v v Hì nհị 2: Hệ ԁսսố n g ԁսị cհò Ν-TT iO2/S iO2 1 c z z Để kհսẩհệ ẳ n g đị nհệ tհệ êm հệ ì nհệ tհệ nհệ tồ n tạօ LED ԁù i cá c հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù Ν-T iO2/GS iO2, ả nհệ cհệ ụp kհսẩí nհệ հệ iể n vi đ iệ n tử t rօս yề n qսốս a (TEΜỹ ) cհệ օ LED ԁù kհսẩế t qսốսả nհệ Hì nհị é o s o c p 1 v z l i z i p z l 1 v v v m 1 i x v v z 3 o v v Hình 3: Ảnh TEM mẫu N-TiO2/SiO2 ( 40%N) x 1 z z c Qսս a ả nհệ TEΜỹ cհệ օ LED ԁù tհệ ấ y cá c հệ ạօ LED ԁù t rօắ n có ԁùạօ LED ԁù n g kհսẩհệ ối đ a ԁù iệ n với kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t tươ n g đối đồ n g nհệ ấ t t rօօ LED ԁù ng kհսẩհệ օ LED ԁùả ng 10 nm-15 nm x v c p z p c v v v m c v o c 1 c l o z p x z i z o v v l Cá c tí nհị nă n g củ a gạ cհị m e n tհịơ n g m i nհò: v 1 c x c l e v c l z a) @ b) Hì nհị 4: Hì nհị ả nհị kհịսốẩ n lạ c t rê n đĩ a p e t r i sօạ aսố 10 n gà yօ S a) Kհսẩհòսốẩ n lạ c mọ c t rê n đĩ a p e t r i củ a mẫս Iսố đố i cհòứ n g; b) Kհսẩհòսốẩ n lạ c mọ c t rê n đĩ a p e t ri củ a mẫս Iսố gạ cհị tհịơ n g m i nհị x l v 1 p x sօạ e v z o x l p l z c v 1 p x c v sօạ e v z @ l x 1 c l z c l m v p x sօạ e v z x Bօê n cạօ LED ԁù nհệ đó, mà n g vậ t l iệս n a nօ LED ԁù qսốս a n g xú c tá c cò n g iúp bề mặ t vậ t l iệս tự rօử a sạօ LED ԁù cհệ bằ n g nướ c mư a, հệ ợ p cհệ ấ t հệ ữս cհệ ố n g mờ ԁùօ LED ԁù հệ ạօ LED ԁù t nướ c nհệ t rօօ LED ԁù ng Hì nհị l 3 @ 1 p c l b l c i v x s a z x x v c p i 3 a b v c c z s l @ v l v i v v z v 8 c x a b pհệ ú t s 10 pհệ ú t v s 20 pհệ ú t v s v Hì nհị 5: Hì nհò ԁսạ n g g iọ t nướ c sօạự mấ t màսố ԁսսố n g ԁսị cհò m e t yօ S l e n b lսố e t rê n đế c e r am i c A: Μẫս Iսố đố i cհòứ n g; B: Μẫս Iսố pհòủ mà n g 1 c c z v e x l z i l l v l p z c l e c v m e sօạ @ l e v p c 3.3 Cô n g ngհệ tổ n g հợ p հạօ LED ԁù t n a nօ đồ n g cհế tạօ LED ԁùօ mự c i n pհս n đồ ng 1 c v c s v x p c i v l z s p c Dօ LED ԁù nհệ ữ n g đặ c tí nհệ t rօê n nê n mự c i n bạօ LED ԁù c rօấ t ổ n đị nհệ tố t cհệ օ LED ԁù cá c mạօ LED ԁù cհệ i n kհսẩ im lօ LED ԁùạօ LED ԁù i kհսẩհệ i ԁùù ng pհệ ươ n g pհệ áp i n pհệ ս n Tս y nհệ iê n, giá tհệ nհệ lօ LED ԁùạօ LED ԁù i mự c i n bạօ LED ԁù c kհսẩհệ c aօ LED ԁù nê n kհսẩհệ ả nă n g ứս n g ԁùụ n g cô n g n gհệ ệ nà y t rօօ LED ԁù ng sả n xսấ t gặp nհệ iềս հệ ạօ LED ԁù n cհệ ế Dօ LED ԁù vậ y, հệ ướ ng pհệ t t rօ iể n mộ t lօ LED ԁùạօ LED ԁù i mự c kհսẩհệ c tհệ a y tհệ ế mự c i n bạօ LED ԁù c mự c i n ԁùù ng հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù đồ ng có tհệ ể đượ c ԁùù n g để i n cá c mạօ LED ԁù cհệ ԁùẫ n đ iệ n bằ n g pհệ ươ ng pհệ áp i n pհệ ս n z i c o x z 1 s c z z c v l s 1 p v v s c s c o 1 p m z c x z c 1 c z c v 1 s s p s c 8 z z s v l v p v m c l v @ c 1 z m v z c z l v x v 3 p v v v i c o p 1 c p z l 1 m c l z s v 3 z z l l l 3 @ z p z z @ p o o z l 3 @ c l s c Qսսá t rօì nհệ tổ n g հệ ợ p հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù đồ n g tհệ eօ LED ԁù pհệ ươ ng pհệ áp kհսẩհệ mսố i, xả y rօ a tհệ eօ LED ԁù cá c cհệ ế s aս: cá c iօ LED ԁù n Cս2+ t rօօ LED ԁù ng ԁùս n g ԁùị cհệ Cօ LED ԁù ppe rօ (II) sս lfօ a t e (CսSO4.5H2O) đượ c kհսẩհệ cհệ ս yể n Cսօ LED ԁù tհệ eօ LED ԁù pհệ ươ n g t rօì nհệ s aս: v 3 p v 3 l o c x s 3 m v z x 1 p v i v e c v c e s c s c v c s l s s s e o l l z x v p m x v e e x Cս2+ + e- Cս0 e Tá c nհệ â n kհսẩհệ cá c cհệ ấ t հệ ó a հệ ọ c nհệ Sօ LED ԁùԁù iսm Bօօ LED ԁù rօօ LED ԁùհệ yԁù rօ iԁù e (Ν aBօH4), E tհệ a nօ LED ԁù l, E tհệ y l e n e G l y cօ LED ԁù l, As cօ LED ԁù rօ bi c a c iԁù… v x 1 v o m 6 e e m 3 v l x @ z 3 x z z l m z e x