Đề bài tính toán thiết kế hệ chân không chế tạo lớp phủ màng mỏng quang học lên thấu kính máy ảnh

TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI VIỆN CƠ KHÍ Bộ mơn Máy xác & Quang học ********** BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT ĐỀ BÀI: TÍNH TỐN THIẾT KẾ HỆ CHÂN KHÔNG CHẾ TẠO LỚP PHỦ MÀNG MỎNG QUANG HỌC LÊN THẤU KÍNH MÁY ẢNH Giáo viên hướng dẫn : PGS.TS Nguyễn Thị Phương Mai Sinh viên thực : Nguyễn Anh Quân 20163363 : Trần Nguyên Sơn 20163573 : Nguyễn Tuấn Anh 20150130 Hà Nội, - 2021 MỤC LỤC LỜI NÓI ĐẦU PHÂN CÔNG KHỐI LƯỢNG CÔNG VIỆC CỦA CÁC THÀNH VIÊN NHÓM I: MỞ ĐẦU 1.1 Giới thiệu ống kính máy ảnh 1.2 Đặt vấn đề .3 PHỦ MÀNG MỎNG QUANG HỌC LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH 2.1 Yêu cầu kỹ thuật 2.2 Lựa chọn phương án phủ bề mặt: 2.3 Nguyên lý triệt tiêu: .8 2.4 Màu sắc lớp coating thấu kính 2.5 Tính tốn lựa chọn lớp phủ màng mỏng quang học cho thấu kính máy ảnh 10 2.5.1Xác định lớp phủ phù hợp 10 2.5.2Tính tốn chiều dày lớp phủ 11 2.6 Bảng thông số kỹ thuật lớp phủ màng mỏng quang học 12 THIẾT KẾ HỆ THỐNG CHÂN KHÔNG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG QUANG HỌC PHỦ LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH 13 3.1 Nguyên lý làm việc hệ chân không 13 3.1.1Sơ đồ thuật toán điều khiển hệ chân không .15 3.2 Chọn buồng chân không .16 3.3 Tính tốn chọn Bơm 16 3.3.1Chọn bơm học 16 3.3.2Chọn bơm Turbo .19 3.4 Tính tốn đường ống 20 3.4.1Chọn đường ống nối buồng chân không đến bơm Turbo từ bơm Turbo đến bơm học 20 3.4.2Chọn đường ống n từ bơm học đến bơm turbo .20 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT 3.5 Lựa chọn giá điện trở đựng vật liệu phủ .20 3.6 Lựa chọn đồ gá: 20 QUY TRÌNH CƠNG NGHỆ CHẾ TẠO MÀNG MỎNG QUANG HỌC PHỦ LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH 22 4.1 Quy trình làm chi tiết trước tạo lớp phủ 23 4.1.1Giai đoạn làm ngồi buồng chân khơng 23 4.1.2Giai đoạn làm bên bồng chân không 23 4.2 Quy trình tạo màng mỏng buồng chân không 23 4.2.1Chuẩn bị máy 24 4.2.2Gá thấu kính vào buồng chân không 24 4.2.3Làm buồng chân không 24 4.2.4Sấy chi tiết buồng chân không 24 4.2.5Tạo lớp phủ MgF2 ZnS 24 4.2.6Làm nguội buồng chân khơng, xả khí lấy chi tiết .25 4.2.7Tạo lớp phủ SiO2 cho mặt tiếp xúc với mơi trường bên ngồi thấu kính số 25 4.2.8Kiểm tra chất lượng 25 TÀI LIỆU THAM KHẢO 26 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHƠNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT LỜI NĨI ĐẦU Kỹ thuật chân không ngày gắn liền với lĩnh vực khí cơng nghệ bề mặt ứng dụng trở thành bước quy trình cơng nghệ gia công chi tiết máy sản phẩm công nghệ bao gồm khí xác máy cơng cụ Trong q trình học mơn học “Kỹ thuật chân không công nghệ mặt”, chúng em có thêm kiến thức quý giá ứng dụng công nghệ chân không gia công chi tiết khí, loại lớp phủ bề mặt lớp phủ chống mài mòn, màng mỏng quang học, Dựa vào kiến thức quý chúng em tìm hiểu, tính tốn thiết kế hệ chân không phục vụ cho việc chế tạo màng mỏng quang học phủ lên thấu kính máy ảnh Chúng em xin cảm ơn cô Nguyễn Thị Phương Mai nhiệt tình bảo giúp đỡ chúng em hoàn thành báo cáo Bài cáo cáo cịn sai sót, chúng em mong nhận đóng góp để báo cáo hoàn chỉnh Chúng em xin chân thành cảm ơn! BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT PHÂN CÔNG KHỐI LƯỢNG CÔNG VIỆC CỦA CÁC THÀNH VIÊN NHÓM I: STT Họ tên MSSV Vai trị Nội dung Nguyễn Anh 20163363 Nhóm Quân trưởng - Mở đầu Trần Nguyên 20163576 Thành Sơn viên - Chương Thiết kế hệ chân không - Chương Lựa chọn màng mỏng quang học phủ lên bề mặt thấu kính máy ảnh - Làm Slide thuyết trình Nguyễn Tuấn Anh 20150130 Thành viên - Chương Thiết lập quy trình cơng nghệ - Tổng hợp, hồn thiện báo cáo BÁO CÁO MƠN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT MỞ ĐẦU 1.1 Giới thiệu ống kính máy ảnh Hình1.1: Các loại ống kính máy ảnh thường gặp thị trường Ống kính máy ảnh hay cịn gọi Thấu kính xem phận khơng thể thiếu máy ảnh, cịn xem “con mắt” máy ảnh Cơ chế hoạt động tia sáng phải qua ống kính trước chiếu lên kính ngắm máy ảnh, bề mặt phim (của máy chụp phim) hay cảm biến để tạo nên hình ảnh Chất lượng tia sáng lượng sáng qua ống kính định tồn đến chất lượng hình ảnh Vì vậy, ống kính có vai trị quan trọng việc xử lý hình ảnh tạo nên ảnh vô đẹp 1.2 Đặt vấn đề Khi ánh sáng qua mơi trường khơng khí hay số mơi trường suốt khác, chúng bị bẻ cong phản xạ Sự phản xạ ánh sáng tất ống kính máy ảnh ghi lại Hãy thử đổ đầy cốc nước bỏ thìa vào Sau nhìn cốc nước từ phần cạnh tìm điểm giao thìa nước Điểm điểm khúc xạ!  BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT Nước chất lỏng hoàn toàn suốt, chúng phản xạ phần ánh sáng Tấm kính camera hồn tồn suốt, thường thường phản xạ khoảng 3-4% ánh sáng tới, dù bạn có vệ sinh tới Khi tia sáng xuyên qua thấu kính thấu kính, tượng vật lý tương tự xảy ra, phần ánh sáng chụp ảnh Hình 1.2: Hình ảnh minh hoạ phản quang thấu kính Đối với ống kính đơn giản (1 thấu kính), tổng lượng ánh sáng rơi vào khoảng 7%, nghĩa lấy khoảng 93% lượng ánh sáng thật vào thấu kính Khơng phải vấn đề lớn Tuy nhiên khoảng 180 năm trước, Joesph Petzval tạo ống kính với nhiều lớp kính Phát minh Joesph tạo nên xu hướng mới, nhiều lớp kính cho ảnh nhanh sắc nét Hãy thử xem xét việc phần ánh sáng phản xạ có ý nghĩa thấu kính lớp, minh họa Tỷ lệ ánh sáng truyền 0,93 x 0,93 x 0,93 x 0,93 = 75% Ngày nay, ống kính zoom có từ 10 – 20 lớp kính thiếu lớp tráng phủ, lượng ánh sáng qua lớp kính khoảng 48% Mất f/stop (1 đơn vị sáng) Càng thêm thấu kính, nhiều ánh sáng BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT Có vấn đề khác Hầu hết 7% ánh sáng bị phản xạ bật ngồi mặt trước thấu kính, phần vào thấu kính tiếp tục bị phản xạ ngược lại mặt sau thấu kính, làm xuất hiện tượng Haze (lóa) Màu đen khơng cịn màu đen nữa, độ tương phản hình ảnh nhiều Hình 1.3: Hiện tượng Haze (lố) ống kính máy ảnh Để khắc phục tượng Haze (lố) tăng thêm chất lượng thấu kính, nhóm chúng em tìm hiểu đưa phương án phủ số lớp màng mỏng quang học lên bề mặt thấu kính BÁO CÁO MƠN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT PHỦ MÀNG MỎNG QUANG HỌC LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH 2.1 Yêu cầu kỹ thuật  Chi tiết: thấu kính máy ảnh: ∅ 52mm , h=8mm  Tạo lớp phủ màng mỏng quang học: Chống phản xạ, chống xước, chống bám vân Hình 2.1: Ý tưởng: Phủ MgF2, ZnS bề mặt cong; phủ lớp phủ chống xước, chống bám vân lên bề mặt cuối (bề mặt màu xanh) Hình 2.2: Thấu kính máy ảnh với thấu kính thực tế BÁO CÁO MƠN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT 2.2 Lựa chọn phương án phủ bề mặt: Lựa chọn sử dụng phương pháp bốc bay trực tiếp phương pháp nhiệt điện trở (Thermal Evaporation) phủ lên bề mặt cong thấu kính Magnesium fluoride (MgF2) Zinc sulfide (ZnS) để chống phản xạ; phủ Silic dioxit (SiO2) lên bề mặt tiếp xúc với môi trường bên ngồi thấu kính thấu kính (hình 2.1) để chống xước chống bám vân tay BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT THIẾT KẾ HỆ THỐNG CHÂN KHÔNG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG QUANG HỌC PHỦ LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH 3.1 Nguyên lý làm việc hệ chân khơng Hình 3.1: Sơ đồ cấu tạo hệ chân khơng Chú thích: V1 - Van nối bơm Van xả Turbo buồng chân A1 - Áp suất buồng chân không không A2 - Áp suất cổ bơm Turbo V2 - Van nối bơm học bơm Turbo B1 - Bơm học V3 - Van nối bơm B2 - Bơm Turbo học buồng chân không  13 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT  Nguyên lý làm việc hệ chân không: - Bơm học nối với buồng chân không thông qua đường, bơm bắt đầu áp suất khí 1at bơm học hoạt động, van V mở, V2 đóng - Khi áp suất buồng chân khơng đạt 10−2 Torr khóa V3, V2 mở bơm học thực hút khí bơm Turbo từ áp suất at xuống 10-2 Torr - Khi áp suất bơm khuếch tán đạt 10−2Torr, V1 mở bơm Turbo bắt đầu hoạt động hút chân không bường từ 10-2 Torr xuống 2.10-5 Torr, bơm học hoạt động - Khi áp suất buồng chân khơng đạt 10−5Torr, V1 đóng chuyển sang q trình làm cơng nghệ phủ màng mỏng 14 BÁO CÁO MƠN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT 3.1.1 Sơ đồ thuật tốn điều khiển hệ chân khơng 15 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT 3.2 Chọn buồng chân khơng Dựa vào u cầu tính tốn ta chọn buồng chân khơng hình trụ có kích thước sau: Ø = 300 mm Chiều cao: H = 500 mm Vậy thể tích buồng chân không là: Vb = A=π 1502 x 500 = 35.325 (lít) Phương pháp bốc bay nhiệt, vật liệu dạng bột nên chọn kiểu thuyền chứa vật liệu, thăng hoa bay bơi nhiệt ngưng tụ bề mặt chi tiết Nguồn cung cấp nhiệt vật liệu có trở kháng cao vonfram Trong buồng bố trí chắn nằm thuyền chi tiết trước tạo màng cần làm chi tiết buồng chân không Nguyên lý làm thường sử dụng phương pháp phóng điện Khi chi tiết đạt độ dày cần thiết, chắn ngăn không cho vật liệu tiếp tục bốc bay lên chi tiết, đảm bảo độ dày cần đạt 3.3 Tính toán chọn Bơm Để đạt áp suất 10-5 Torr ta cần thực theo giai đoạn: Trước hết sử dụng bơm học để đưa áp suất buồng chân khơng từ áp suất khí (760 Torr) đến 10-2 Torr Khi khơng khí áp suất 10-3 – 10-5 Torr, phân tử khí định xứ bề mặt, quãng đường tự trung bình lớn kích thước buồng chân khơng ta thiết kế Do ta cần sử dụng bơm Turbo để đưa áp suất xuống 10-5 Torr 3.3.1 Chọn bơm học - Xác định tốc độ bơm học: - Chọn thời gian bơm phút σ =ln S= 760 760 =ln −2 =11,24 p 10 V 35.325 σ= 11,24=2.05 l/ s t 180 - Chọn bơm học có tốc độ bơm có C ≥ 2.05 l/s - Chọn bơm KINNEY KC-8 o với tốc độ bơm : 8CFM= 3.6 l/s, 16 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT o áp suất đạt o Inlet connection o Discharge connection : 2×10^-4 Torr : 1inch = 2.54 cm : ¾ inch = 1.905 cm Hình 3.2: Thơng số kỹ thuật bơm Kinney KC-8 Hình 3.3: Đồ thị tốc độ bơm 17 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT Hình 3.4: Thơng số kích thước 18 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT 3.3.2 Chọn bơm Turbo - Xác định tốc độ bơm học - Chọn thời gian bơm phút S= Pv 35.325 V 10 ln = ln =1.829 l/s −5 t p 120 10 −2 Chọn bơm khuếch tán có tốc độ bơm có C ≥ 1,829 l/s - Ta sử dụng bơm Turbo để đạt áp suất 10-5 buồng chân khơng Chọn bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110 hãng Pfeiffer Turbo Pumps - Tốc độ hút: Cmax = 10 (lít/s) (N2) - Độ chân khơng max: < 5x10-5 (Torr) - Công suất: 28.8 kW (50 Hz) Hình 3.5: Bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110 Hình 3.6: Kích thước bao Bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110 19 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHƠNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT Hình 3.7: Thơng số kỹ thuật Bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110 Hình 3.8: Đồ thị tốc độ bơm Bơm Turbo HiPace® 10, DN 25 with TC 110 20 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHƠNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT 3.4 Tính tốn đường ống 3.4.1 Chọn đường ống nối buồng chân không đến bơm Turbo từ bơm Turbo đến bơm học (Tra hình 3.14/T173 – Kỹ thuật chân khơng cơng nghệ mặt, Nguyễn Thị Phương Mai (2014), NXB Khoa học Kỹ thuật) - Ống từ buồng chân không đến bơm Turbo là: Đường kính: D1 = 34 (mm) Chiều dài: L1 = 45 (cm) - Ống từ buồng chân khơng đến bơm Cơ học là: Đường kính : D2 = 25 (mm) Chiều dài : L2 = 75 (cm) 3.4.2 Chọn đường ống n từ bơm học đến bơm turbo + Tốc độ hút: Cmax = 8.5 (m3/h) = 2.36 (lít/s) + Đường kính: D3 = 25 (mm) + Chiều dài: L3 = 75 (cm) 3.5 Lựa chọn giá điện trở đựng vật liệu phủ Hình 3.9: Các loại “giá điện trở”: dạng dây (a-d), dạng thuyền (e-g) dạng chén (h) Chọn giá điện trở dạng thuyền để đựng vật liệu phủ 3.6 Lựa chọn đồ gá: Chi tiết thấu kính d= 52mm, chiều dày 10mm, số lượng: Sự phân bố hướng nguyên tử bốc bay tuân theo định luật phân bố Cosine: N i=N cos α i 21 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHƠNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT Hình 3.10: Sơ đồ định luật phân bố Cosine Lựa chọn đồ gá dạng đĩa lõm, đĩa có lỗ kích thước lớn thấu kính (như hình mơ 3.11), có gioăng cao su chân khơng Vật liệu bốc bay, đĩa quay để vật liệu phân bố chi tiết Hình 3.11: Hình ảnh mơ đồ gá dạng đĩa lõm có lỗ để đặt thấu kính 22 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT QUY TRÌNH CƠNG NGHỆ CHẾ TẠO MÀNG MỎNG QUANG HỌC PHỦ LÊN BỀ MẶT THẤU KÍNH MÁY ẢNH Dựa vào bảng thơng số kỹ thuật mục 2.5, cần thiết lập quy trình cơng nghệ để thực phủ lớp phủ để đạt yêu cầu kỹ thuật đặt sản phẩm Do lớp phủ cứng SiO2 cần lên bề mặt tiếp xúc với môi trường bên ngồi thấu kính thấu kính (hình 2.1) để chống xước chống bám vân tay, thấu kính khác khơng cần Vì vậy, sau thực quy trình phủ lớp Magnesium fluoride (MgF2) Zinc sulfide (ZnS) để chống phản xạ, lấy thấu kính 2,3,4,5,6 thực tiếp quy trình phủ lớp phủ cứng cho thấu kính Hình 4.1: Sơ đồ quy trình cơng nghệ chế tạo lớp phủ màng mỏng quang học phủ lên bề mặt thấu kính máy ảnh 23 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT 4.1 Quy trình làm chi tiết trước tạo lớp phủ Quá trình làm chi tiết bao gồm hai giai đoạn: - Giai đoạn 1: Làm ngồi buồng chân khơng (làm chi tiết trước phủ) Giai đoạn 2: Làm buồng chân khơng 4.1.1 Giai đoạn làm ngồi buồng chân khơng Quy trình làm phụ thuộc vào vật liệu làm thấu kính (kính quang học BK7) thành phần vật liệu làm thấu kính Quy trình bao gồm bước:  Bước 1: Tẩy bẩn thơ q trình làm sau gia cơng chi tiết theo hình dạng mong muốn, sau trình mài nghiền  Bước 2: Sử dụng nước ấm 70 ~ 80°C để làm lại , sau dùng khăn hong khơ, lau đưa sang quy trình làm  Bước 3: Ngâm thấu kính dung dịch kiềm ( NaOH, Ca(OH)2 nồng độ 5%) 10 ~ 15 phút  Bước 4: Rửa lại thấu kính dịng chảy vịi nước lạnh,  Bước 5: Ngâm thấu kính dung dịch axit (HNO3 1% HCl 2%) 10~ 15 phút  Bước 6: Rửa nước cất đưa vào máy siêu âm để tạo rung động với tần số lớn để làm cho phần tử bám bề mặt thấu kính bị nở Sau lấy đưa sang bình nước cất lau khô vải dệt kim  Bước 7: Sấy khô chi tiết nhiệt độ khoảng 120 ~ 150°C buồng sấy có độ chân khơng 10−1 Torr  Bước 8: Chi tiết sau sấy khô rửa lại bặng dung dịch dễ bay axeton cồn 4.1.2 Giai đoạn làm bên bồng chân không Sau làm bên ngồi bng chân khơng, cần tiếp tục làm thấu kính bên buồng chân khơng Ngun nhân bề mặt chi tiết cịn chất bẩn bám lại chất làm đọng lại Nguyên lý làm buồng chân khơng thường sử dụng phương pháp phóng điện khí diễn mơi trường chân không −1 −2 10 10 Torr 4.2 Quy trình tạo màng mỏng buồng chân khơng Quy trình tạo màng mỏng buồng chân khơng loại thao tác hệ chân không thực sau 24 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT 4.2.1 Chuẩn bị máy Chuẩn bị hệ chân không, kiểm tra van, bơm, đường ống; Kiểm tra xem buồng chân khơng có bị rị gỉ hay khơng theo phương pháp học để đảm bảo hệ chân khơng hoạt động bình thường q trình chế tạo lớp phủ 4.2.2 Gá thấu kính vào buồng chân không Sử dụng đồ gá chuẩn bị sẵn để gá thấu kính cách cẩn thận vào bên buồng chân không 4.2.3 Làm buồng chân khơng Làm thấu kính buồng chân khơng theo ngun lý nói mực 5.1.1.2 4.2.4 Sấy chi tiết buồng chân không Sau làm thấu kính buồng chân không, cần sấy lại lần 4.2.5 Tạo lớp phủ MgF2 ZnS Các lớp phủ được phủ theo thứ tự: - Lớp thứ nhất: MgF2 Lớp thứ 2: ZnS Lớp thứ 3: MgF2 Đầu tiên, ta phủ lớp thứ MgF2 theo bước:  Bước 1: Gia nhiệt cho vật liệu phủ Vật liệu phủ gia nhiệt thông qua thiết bị nung điều khiển nhiệt độ đế Thông qua đồng hồ đo nhiệt ta xác định chi tiết đạt đến nhiệt độ cần thiết để tiến hành bước  Bước 2: Phủ công nghệ nhiệt điện trở Vật liệu bay ngưng đọng lên đế gắn vào giá phía Chiều dày màng thường xác định trực tiếp trình chế tạo biến tử thạch anh Khi màng bay bám lên biến tử đặt cạnh đế, biến thiên tần số dao động biến tử tỉ lệ với chiều dày màng bám vào biến tử  Bước 3: Làm buồng chân không Sau phủ xong lớp thứ nhất, ta cần làm buồng chân không để phục vụ cho công đoạn phu lớp sau Ở quy trình này, sử dụng phương pháp làm nhiệt 25 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CƠNG NGHỆ BỀ MẶT Cơng đoạn phủ lớp thứ thứ thực cách lặp lại bauơcs 4.2.6 Làm nguội buồng chân không, xả khí lấy chi tiết Sau tạo màng mỏng quang học xong, cần làm nguội chi tiết buồng chân khơng, sau xả khí hết tháo dỡ chi tiết 4.2.7 Tạo lớp phủ SiO2 cho mặt tiếp xúc với mơi trường bên ngồi thấu kính số - Bước 1: Thực thao tác chuẩn bị máy, đặt thuyền đựng SiO2 vào buồng chân không Bước 2: Gá thấu kính vào buồng chân khong đồ gá Bước 3: Thục lặp lại bước mục 4.2.5 4.2.6 để hoàn thành lớp phủ 4.2.8 Kiểm tra chất lượng - Kiểm tra độ dày lớp phủ Kiểm tra độ bám dính màng đế chi tiết lớp phủ Kiểm tra đồng lớp phủ Kiểm tra đồng lớp phủ vị trí biên tâm đế Kiểm tra độ phản quang thấu kính sau phủ Kiểm trả độ chống xước, chống bám vân tay thấu kính 26 BÁO CÁO MÔN HỌC KỸ THUẬT CHÂN KHÔNG & CÔNG NGHỆ BỀ MẶT TÀI LIỆU THAM KHẢO [1].Nguyễn Thị Phương Mai – Kỹ thuật chân không công nghệ bề mặt – Nhà xuất khoa học kỹ thuật https://rick_oleson.tripod.com/index-166.html https://en.wikipedia.org/wiki/Refractive_index https://en.wikipedia.org/wiki/Optical_coating http://www.vnphoto.net/forums/showthread.php?t=74001 http://mientayvn.com/OCW/MIT/Vat_li.html http://mientayvn.com/OCW/YALE/Ki_thuat_y_sinh.html 27