Luận án tiến sĩ nghiên cứu phương pháp và xây dựng mô hình thiết bị đánh giá chất lượng tạo ảnh của hệ thống quang học làm việc trong vùng hồng ngoại 8 12 μm

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO BỘ QUỐC PHÒNG HỌC VIỆN KỸ THUẬT QUÂN SỰ TRẦN ANH QUANG NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP VÀ XÂY DỰNG MƠ HÌNH THIẾT BỊ ĐÁNH GIÁ CHẤT LƯỢNG TẠO ẢNH CỦA HỆ THỐNG QUANG HỌC LÀM VIỆC TRONG VÙNG HỒNG NGOẠI 8-12 µm LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT HÀ NỘI - NĂM 2023 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO BỘ QUỐC PHÒNG HỌC VIỆN KỸ THUẬT QUÂN SỰ TRẦN ANH QUANG NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP VÀ XÂY DỰNG MƠ HÌNH THIẾT BỊ ĐÁNH GIÁ CHẤT LƯỢNG TẠO ẢNH CỦA HỆ THỐNG QUANG HỌC LÀM VIỆC TRONG VÙNG HỒNG NGOẠI 8-12 µm Ngành: Kỹ thuật khí Mã số : 52 01 03 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: TS LÊ DUY TUẤN PGS TS LÊ HOÀNG HẢI HÀ NỘI - NĂM 2023 i LỜI CAM ĐOAN Tơi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu riêng Các số liệu, kết luận án trung thực chưa công bố cơng trình luận văn hay luận án Tác giả luận án Trần Anh Quang ii LỜI CẢM ƠN Trong trình học tập nghiên cứu Học viện Kỹ thuật Quân sự, để hoàn thành luận án này, tác giả nhận nhiều giúp đỡ đóng góp quý báu thầy cô, nhà khoa học, nhà quản lý đồng nghiệp Đầu tiên, xin chân thành cảm ơn tập thể cán hướng dẫn: TS Lê Duy Tuấn PGS TS Lê Hoàng Hải, HVKTQS, tận tình dẫn tơi thực hồn thành luận án Tơi xin cảm ơn Bộ mơn Khí tài quang học, Khoa Vũ Khí, HVKTQS ln tạo điều kiện thuận lợi cho trình học tập tiến hành thực nghiệm Tơi xin cảm ơn Trường Sĩ quan Kỹ thuật Quân sự, Hệ quản lý học viên sau đại học, Phòng sau đại học – HVKTQS quan tâm động viên thời gian học tập HVKTQS Cuối cùng, tác giả xin bày tỏ lịng cảm ơn đến gia đình, bạn bè, đồng nghiệp động viên, giúp đỡ tác giả vượt qua khó khăn suốt trình làm luận án Xin trân trọng cảm ơn! Nghiên cứu sinh iii MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN i LỜI CẢM ƠN ii DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT vi DANH MỤC BẢNG BIỂU viii DANH MỤC HÌNH VẼ VÀ ĐỒ THỊ ix MỞ ĐẦU 1 Tính cấp thiết luận án Mục tiêu nội dung nghiên cứu 3 Đối tượng nghiên cứu Phạm vi nghiên cứu Phương pháp nghiên cứu Ý nghĩa khoa học ý nghĩa thực tiễn Các đóng góp luận án Bố cục luận án Chương 1: TỔNG QUAN VỀ THIẾT BỊ ẢNH NHIỆT VÀ VẤN ĐỀ ĐÁNH GIÁ CHẤT LƯỢNG TẠO ẢNH CỦA HỆ THỐNG QUANG HỌC LÀM VIỆC TRONG VÙNG PHỔ HỒNG NGOẠI 1.1 Tổng quan thiết bị ảnh nhiệt 1.1.1 Quá trình phát triển 1.1.2 Nguyên lý hoạt động thiết bị ảnh nhiệt 10 1.2 Các phương pháp đánh giá chất lượng ảnh HTQH ảnh nhiệt 11 1.2.1 Hàm nhòe điểm 13 1.2.2 Hàm nhòe đường 16 1.2.3 Hàm nhòe cạnh 17 1.2.4 Hàm truyền điều biến MTF 19 1.3 Một số thiết bị đánh giá chất lượng ảnh HTQH làm việc vùng hồng ngoại -12 µm 20 iv 1.4 Lựa chọn phương án xây dựng mơ hình thiết bị đánh giá chất lượng ảnh HTQH ảnh nhiệt 23 1.5 Yêu cầu thành phần hệ thống đánh giá chất lượng ảnh HTQH hồng ngoại 25 1.6 Kết luận 33 Chương 2: PHƯƠNG PHÁP TÍNH ẢNH HƯỞNG CỦA KẾT CẤU GÁ LẮP ĐẾN QUANG SAI MẶT SÓNG CỦA LINH KIỆN QUANG HỌC 35 2.1 Sự ảnh hưởng kết cấu gá lắp đến quang sai mặt sóng linh kiện quang học 35 2.2 Phương pháp xác định biên dạng bề mặt quang sai mặt sóng linh kiện quang học sau biến dạng 36 2.2.1 Quy trình tính tốn 36 2.2.2 Xác định biên dạng bề mặt 37 2.2.3 Xác định quang sai mặt sóng 46 2.3 Mơ hình hóa thực nghiệm đánh giá quang sai mặt sóng gương cầu biến dạng lực gá kẹp 47 2.3.1 Mơ hình gá lắp gương phần mềm ANSYS 47 2.3.2 Kết cấu thực nghiệm gá lắp gương 47 2.3.3 Mơ hình thiết bị đo quang sai mặt sóng 48 2.4 Kết tính quang sai mặt sóng gương cầu 49 2.4.1 Kết chuyển vị tính phần mềm ANSYS 49 2.4.2 Tính tốn quang sai mặt sóng Zemax 49 2.4.3 Quang sai mặt sóng gương đo giao thoa kế Zygo 51 2.4.4 So sánh quang sai mặt sóng lý thuyết thực nghiệm 52 2.5 Kết luận 53 Chương 3: XÂY DỰNG MƠ HÌNH THIẾT BỊ ĐÁNH GIÁ CHẤT LƯỢNG TẠO ẢNH CỦA HỆ THỐNG QUANG HỌC LÀM VIỆC TRONG VÙNG PHỔ HỒNG NGOẠI 8-12 µm 55 v 3.1 Thiết kế, chế tạo hệ chuẩn trực làm việc vùng hồng ngoại 55 3.1.1 Thiết kế hệ quang hệ chuẩn trực 55 3.1.2 Thiết kế kết cấu khí hệ chuẩn trực 62 3.1.3 Cụm gương thứ cấp 67 3.1.4 Lắp ráp hiệu chỉnh……………………………………………67 3.1.5 Kết đo kiểm thông số ống chuẩn trực 70 3.2 Thiết kế, chế tạo vật kính hiển vi 71 3.2.1 Thiết kế hệ quang vật kính hiển vi 71 3.2.2 Chế tạo vật kính hiển vi 77 3.3 Kết luận 80 Chương 4: CÁC KẾT QUẢ THỰC NGHIỆM 82 4.1 Kết hoạt động thực nghiệm hệ chuẩn trực 82 4.1.1 Đo quang sai mặt sóng gương chuẩn trực 82 4.1.2 Kết thu nhận ảnh lỗ tạo vật kính ảnh nhiệt 83 4.2 Kết thử nghiệm hoạt động vật kính hiển vi 85 4.2.1 Kiểm tra độ phóng đại vật kính hiển vi 85 4.2.2 Kết thu nhận ảnh lỗ tạo vật kính hiển vi 86 4.3 Ứng dụng mơ hình thiết bị đo hàm LSF, MTF số mẫu vật kính ảnh nhiệt 87 4.3.1 Đo tiêu cự vật kính ảnh nhiệt 88 4.3.2 Đo hàm nhòe đường LSF, hàm truyền điều biến MTF 91 4.4 Kết luận 101 KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG PHÁT TRIỂN CỦA LUẬN ÁN 102 Kết luận án 102 Hướng phát triển luận án 103 DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ 104 TÀI LIỆU THAM KHẢO 105 PHỤ LỤC 111 vi DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT Danh mục ký hiệu TT 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 Ký hiệu R d f' D ω β λ Aj Mj(ρ,θ) γ Φin Vout F P V Ve {q}e [m]e [c]e [k]e {f}e [M] [C] [K] {F} Diễn giải Bán kính linh kiện quang học Chiều dày dọc trục Tiêu cự Đường kính thơng quang Góc thị giới Độ phóng đại Bước sóng Hệ số đa thức Zernike Standard Đa thức Zernike Standard Hệ số hiệu chỉnh Gamma Tín hiệu đầu vào Tín hiệu đầu Lực tác dụng Trọng lượng Miền khảo sát Miền Nút phần tử Ma trận khối lượng Ma trận cản Ma trận độ cứng Véc tơ lực phần tử Ma trận khối lượng tổng thể Ma trận cản tổng thể Ma trận độ cứng tổng thể Véc tơ lực tổng thể Đơn vị mm mm mm mm Độ Lần µm Độ xám Độ xám N N vii Danh mục chữ viết tắt Chữ viết tắt Nguồn gốc PSF LSF ESF OTF MTF CCD SWIR Point Spread Function Line Spread Function Edge Spread Function Optical Transfer Function Modulation Transfer Function Charge Coupled Device Short Wavelength Infrared MWIR Medium Wavelength Infrared LWIR PV RMS NA HTQH TBAN Long Wavelength Infrared Peak to Valley Root Mean Squared Numerical Aperture Dịch nghĩa Hàm nhòe điểm Hàm nhòe đường Hàm nhòe cạnh Hàm truyền quang học Hàm truyền điều biến Cảm biến Phổ hồng ngoại bước sóng ngắn Phổ hồng ngoại bước sóng trung bình Phổ hồng ngoại bước sóng dài Giá trị đỉnh đáy Giá trị bình phương trung bình Khẩu độ số Hệ thống quang học Thiết bị ảnh nhiệt viii DANH MỤC BẢNG BIỂU Bảng 2.1 So sánh quang sai mặt sóng PV lý thuyết thực nghiệm lực tác dụng khác 52 Bảng 2.2 So sánh quang sai mặt sóng RMS lý thuyết thực nghiệm lực tác dụng khác 52 Bảng 3.1 Các thơng số kết cấu tối ưu vật kính hiển vi 76 Bảng 3.2 Kết đo kiểm thơng số kích thước thấu kính 78 Bảng 3.3 Kết đo sai số hình dạng mặt thấu kính 79 Bảng 3.4 Quy đổi sai số hình dạng sang bước sóng trung tâm vùng phổ làm việc vật kính (IR = 10,6 µm) 80 Bảng 4.1 Bảng thơng số kỹ thuật laser CO2 89 Bảng 4.2 Thông số mẫu vật kính cần kiểm tra 96 110 53 Le Duy Tuan, Duong Chi Dung, Le Hoàng Hai, Vu Van Huyen (2011), “Setting-up a Shack-Hartmann wavefront sensor”, Journal of Science and Technique 54 S.A Rodionov, Basic Optics, ITMO 2000 55 R.C Gonzalez, R E Woods (2018), Digital Image Processing, 4th edition 56 David R Bull, Fan Zhang (2021), Intelligent Image and Video Compression, 2rd Edition 57 Ci-systems, Mets (www.ci-systems.com) 58 Hgh, Ir-Col (www.hgh.fr) 59 Inframet, Ori (www.inframet.com) 60 Santabarbara, 14000 Zi (www.sbir.com) 61 Optikos, Lenscheck LWTR (www.optikos.com) 62 Trioptics, ImageMaster Universal (www.trioptics.com) 111 PHỤ LỤC Chương trình tính hệ số đa thức Zernike Standard phần mềm Delphi: Procedure TForm1.Mainprogram(Sender: TObject); var fr:textfile; st:string; j:integer; x,dx,y,dy,z,dz,R,c,dtv,dk:real; coef:realarray; data:realarray2; I: Integer; xm,ym:real; begin j:=0; st:=edit1.Text; val(st,R,j); st:=edit2.Text; val(st,dk,j); st:=edit4.Text; val(st,DTV,j); order:=6; dz:=0; xm:=0; ym:=0; if OpenTextFileDialog1.Execute then begin st:=OpenTextFileDialog1.FileName; 112 AssignFile(fr,st); Reset(fr); j:=0; try while not Eof(fr) begin readln(fr,x,dx,y,dy,z,dz); x:=x+dx; y:=y+dy; if sqrt(x*x+y*y)0 then begin if (y>=0) then teta:=arcsin(x/ro) else teta:=pi-arcsin(x/ro); end else teta:=pi; i:=0; for n:=0 to 2*(order-1) begin if npp then begin pp:=abs(a[i,k]); kk:=i end; if pp=0 then exit; //co loi for i:=0 to n-1 begin tg:=P[k,i]; P[k,i]:=P[kk,i]; P[kk,i]:=tg; end; for i:=0 to n-1 begin tg:=a[k,i]; a[k,i]:=a[kk,i]; 121 a[kk,i]:=tg; end; for i:=k+1 to n-1 begin a[i,k]:=a[i,k]/a[k,k]; for j:=k+1 to n-1 a[i,j]:=a[i,j]-a[i,k]*a[k,j]; end; end; for i:=0 to n-1 for j:=0 to n-1 begin if j=i then begin L[i,j]:=1; U[i,j]:=A[i,j]; end; if j>i then begin L[i,j]:=0; U[i,j]:=A[i,j]; end; if j