... molecules
(isotope rectification)
Epitaxy
Low-Temperature
Deposition Methods
• MBE sources; RHEED
5-100 keV
EPITAXY 2003-11-17
August Yurgens
11
Epitaxy
Less Common
Epitaxy Processes
• MBE Allotaxy
• ... small, often less than
10m in diameter.
• Colloidal epitaxy
Home exercise #10 (p.491)
EPITAXY 2003-11-17
August Yurgens
2
Epitaxy
Graphoepitaxy: films can be oriented even in...
... Hai loại epitaxy
• Mô tả được ứng dụng của màng epitaxy
• Giải thích được các kỹ thuật để tạo ra lớp
màng mỏng epitaxy
• Mô tả được cấu trúc cũng như các sai hỏng
của màng mỏng epitaxy
Schematic ... also contained low
carbon
Techniques for silicon epitaxy
1. Chemical Vapour Deposition (CVD)
2. Molecular Beam Epitaxy (MEB)
3. Liquid Phase Epitaxy (LPE)
4. Solid phase...