Cảm biến áp trở silic

... vật Trên thực tế, để áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải áp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi ... suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất cụ thể chế tạo vào năm 1960, sau nhiều nhà nghiên cứu giới tập trung nghiên cứu lĩnh vực Đặc biệt có xuất cô...

Ngày tải lên: 16/03/2014, 12:43

Ngày tải lên: 04/10/2014, 10:56

... số áp điện trở 1.3 Phân loại MEMS cảm biến áp suất 1.3.1 Màng silicon vi 1.3.2 Cảm biến áp suất áp trở 1.3.3 Cảm biến áp suất kiểu tụ điện 1.3.4 Cảm biến ... vi chấp hành với cơng suất ngõ cao Cơng nghệ vi trở thành cơng nghệ cho chế tạo linh kiện vi điện tử đặc biệt cảm biến chấp hành thu nhỏ Silic thuận lợi 15 cho cơng n...

Ngày tải lên: 25/03/2015, 11:56

... HỮU TƯỚC I CẢM BIẾN ÁP SUẤT KIỂU ÁP ĐIỆN Cảm biến áp suất điện áp có nguyên tắc hoạt động dựa tượng thay đổi hay xuất phân cực điện khi số chất điện môi bị biến dạng tác dụng lực Bộ cảm biến gồm ... tác dụng lực lên cảm biến màng PVDF chịu ứng suất hình thành điện tích bề mặt Lớp mặt Màng PVDF F Lớp đế Cảm biến áp suất điện áp Điện tích thay...

Ngày tải lên: 17/05/2015, 21:37

... gúc mng 26 24 Độ lệch màng cức đại (micro mét) 22 20 18 16 14 12 10 0 0.2 0 .4 0.6 0.8 1.2 1 .4 1.6 1.8 2.2 áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca lch cc i trờn mng cm bin vo ỏp sut Kt qu cho thy, vựng ... mng 100 900 90 80 Độ lệch lối (mV/V) ứng suất cực đại (N/micro-m2) 800 700 600 500 40 0 300 70 60 50 40 30 200 20 100 10 0 Hỡnh S ph thuc ca ng sut cc i vo ỏp sut áp suất (...

Ngày tải lên: 04/09/2015, 19:15

... b o c k, cng knh trc õy Song cụng ngh MEMS mi ang giai on u ca nú v cn rt nhiu nhng nghiờn cu c bn hn, sõu hn Cụng ngh ch to cỏc sn phm MEMS Cỏc sn phm MEMS l s tớch hp vi mch in t vi cỏc linh ... dng ca cỏc cm bin MEMS Tuy rng MEMS mi i cha lõu nhng ó cú rt nhiu ng dng gúp phn khụng nh vo s phỏt trin i sng xó hi Cỏc ng dng ph cp: Cỏc ng dng ph cp nht hin ca cụng ngh MEMS cỏc ngnh...

Ngày tải lên: 11/04/2013, 16:01

... phát triến mạnh việc ứng dụng cảm biến việc thiết kế hệ đo khảo sát cảm biến cần thiết, thiết bị thiếu cho phòng thí nghiệm Một hệ đo nhạy có xác cao ứng dụng y học, máy xét nghiệm y sinh Ngoài có ... hệ đo đơn giản với nhân khuyếch đại lock-in số thử nghiệm hệ đo với cảm biến áp suất MPX2300D Motorola Sinh Viên : Lê Trần Triệu Tuấn ĐH Công...

Ngày tải lên: 16/04/2013, 10:35

... việc đo từ trường trái đất Vì chúng ứng dụng cho thiết bị nhận biết phương tiện giao thông Nghiên cứu em tập trung vào việc xây dựng thiết bị nhận biết phương tiện giao thông dựa cảm biến từ trở ... này, em tập trung nghiên cứu cảm biến từ trở xây dựng thiết bị đo thay đổi từ trường, thiết bị ứng dụng để phát phương ti...

Ngày tải lên: 25/04/2013, 10:59

... phép đo áp suất vi sai không rõ áp suất tuyệt đối hay calip, hai bên phép đo so sánh cách trực tiếp Giá trị đọc độ chênh lệch áp suất không cho biết độ lớn cụ thể áp suất bên Nếu áp suất vi sai ... nhập vào cảm biến Khi sử dụng, cảm biến phải nạp đầy chất trơ, thường đầu silicon để truyền áp suất toàn hệ thống Bộ bảo vệ áp (overpressure protector) – van lò xo...

Ngày tải lên: 24/10/2013, 12:15

... tương ứng áp suất tác dụng lên màng Cảm biến áp suất loại cảm biến thường dùng công nghiệp Trong y tế cảm biến áp suất thường sử dụng để đo áp suất động mạch tĩnh mạch Ưu điểm lớn độ nh y Cụ thể ... khuyếch đại tạo dạng D KẾT LUẬN Hệ thống đóng góp việc ứng dụng cảm biến MEMS vào thiết bị điện tử nói chung điện tử y tế Việc ng...

Ngày tải lên: 10/12/2013, 14:15

... 105 Pa Ngoi 1atm bar 1bar=14,504psi atm = 14,696 psi 3.Phõn loi ỏp sut bar áp suất tư ơng đối áp suất tuyệt đối áp suất khí p sut chõn khụng II.Phõn loi phng tin o ỏp sut: 1.Da theo dng ỏp sut

Ngày tải lên: 03/01/2014, 22:51

... ống nạp phía bên thông với buồng chân không bên Vì vậy, không cần phải hiệu chỉnh mức bù cho độ cao lớn áp suất đường ống nạp đo xác độ cao thay đổi Một thay đổi áp suất đường ống nạp làm ... theo mức biến dạng Tín hiệu điện áp, mà IC biến đổi từ sư dao động giá trị điện trở gọi tín hiệu PIM LƯU Ý KHI SỬA CHỮA: Nếu ống chân không nối với cảm biến bị rời ra,...

Ngày tải lên: 20/01/2014, 16:20

... b o c k, cng knh trc õy Song cụng ngh MEMS mi ang giai on u ca nú v cn rt nhiu nhng nghiờn cu c bn hn, sõu hn Cụng ngh ch to cỏc sn phm MEMS Cỏc sn phm MEMS l s tớch hp vi mch in t vi cỏc linh ... dng ca cỏc cm bin MEMS Tuy rng MEMS mi i cha lõu nhng ó cú rt nhiu ng dng gúp phn khụng nh vo s phỏt trin i sng xó hi Cỏc ng dng ph cp: Cỏc ng dng ph cp nht hin ca cụng ngh MEMS cỏc ngnh...

Ngày tải lên: 20/01/2014, 21:20

... so sánh đầu cảm biến từ hai áp suất giống nhiệt độ cảm biến đặt vị trí dầu Việc so sánh đầu cảm biến thực khoảng năm sau điều kiện lắp đặt áp suất nhiệt độ tiếp xúc giống hệt Áp suất thay đổi ... trở Giảm áp lực màng ngăn giới hạn tới 50ppm áp suất áp dụng, áp suất bị khử điều chỉnh lúc bù Nhìn mặt cắt ngang vùng tách khỏi vỏ hình số Tổng trọng lượng cảm...

Ngày tải lên: 26/01/2014, 00:20