Cảm biến đo gia tốc mems kiểu áp trở

Ngày tải lên: 20/09/2014, 14:07

... Cảm biến đo gia tốc mems kiểu áp trở Nhiệm vụ nghiên cứu Tìm hiểu cấu trúc nguyên lý hoạt động cảm biến đo gia tốc kiểu áp trở, việc đo gia tốc kỹ thuật cảm biến đo gia tốc, giới thiệu loại cảm ... nguyên lý hoạt động cảm biến đo gia tốc silic kiểu áp trở 2.1 Vật liệu silic để chế tạo cảm biến: Cảm biến gia tốc MEMS...

Ngày tải lên: 30/11/2015, 21:55

Ngày tải lên: 17/10/2014, 23:40

... gúc mng 26 24 Độ lệch màng cức đại (micro mét) 22 20 18 16 14 12 10 0 0.2 0 .4 0.6 0.8 1.2 1 .4 1.6 1.8 2.2 áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca lch cc i trờn mng cm bin vo ỏp sut Kt qu cho thy, vựng ... mng 100 900 90 80 Độ lệch lối (mV/V) ứng suất cực đại (N/micro-m2) 800 700 600 500 40 0 300 70 60 50 40 30 200 20 100 10 0 Hỡnh S ph thuc ca ng sut cc i vo ỏp sut áp suất (...

Ngày tải lên: 04/09/2015, 19:15

... dịch chuyển (z), tốc độ (v) gia tốc (a) điểm vật rung ⇒ Đo rung: đo đặc trưng ⇒CB đo rung: CB đo dịch chuyển, CB đo tốc độ cảm biến đo gia tốc 2.1 Nguyên lý & phương pháp đo c) Sơ đồ nguyên ... Cảm biến đo rung gia tốc 2.1 Nguyên lý và phương pháp đo: a) Gia tốc:  )Gia tốc đại lượng vật lý thể mối quan hệ lực khối lượng Phép đo g...

Ngày tải lên: 20/02/2014, 16:20

... móc, thiết bị • Độ rung đặc trưng độ dịch chuyển (z), tốc độ (v) gia tốc (a) điểm vật rung ⇒ Đo rung: đo đặc trưng ⇒CB đo rung: CB đo dịch chuyển, CB đo tốc độ cảm biến đo gia tốc 2.1 Nguyên lý ... lý & phương pháp đo • Cảm biến thứ cấp thường sử dụng: + Cảm biến đo vị trí tương đối khối lượng rung M so với vỏ hộp + Cảm biến đo lực...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 22:20

Ngày tải lên: 27/09/2014, 00:19

Ngày tải lên: 04/10/2014, 10:56

Ngày tải lên: 17/10/2014, 23:18

... Trần Đức Thành Ngành Vật lý chất rắn Nghiên cứu mô hình hoá cấu trúc mô hoạt động cảm biến đo vận tốc góc mems cấu trúc cài lược Luận văn thạc sĩ vật lý Khoá 11 Hà Nội, 2009 Trn c Thnh Luận văn ... quõn s v.v Cựng vi cm bin o gia tc, cỏc cm bin o tc gúc MEMS l cm bin cú t phn ln cỏc sn phm MEMS, mt cỏc loi da trờn silic Cm bin tc gúc MEMS c c tớn...

Ngày tải lên: 23/07/2015, 17:37

... Cảm biến đo vận tốc góc MEMS Mục đích nghiên cứu Tìm hiểu hệ thống hóa kiến thức nguyên lý hoạt động cảm biến đo vận tốc góc, cấu trúc cảm biến đo vận tốc góc MEMS Đối tượng nghiên cứu Cảm biến ... Vi cảm biến vận tốc góc MEMS Vận tốc góc mức độ thay đổi góc quay đơn vị thời gian (Hình 1.4) .Vận tốc góc xác định: M’ d  d dt...

Ngày tải lên: 30/11/2015, 21:55

... đo vận tốc dài Khi đo vận tốc dài, với độ dịch chuyển lớn vật khảo sát (> 1m) thường chuyển thành đo vận tốc góc Trường hợp đo vận tốc dịch chuyển thẳng nhỏ dùng cảm biến vận tốc dài gồm hai phần ... lấy từ đầu thu quang có tần số tỉ lệ với vận tốc quay cần đo Tốc độ kế điện từ Tốc độ kế điện từ đo vận tốc góc - Tốc độ kế dòng chiều: Sơ đồ cấu...

Ngày tải lên: 31/12/2015, 16:55

... phng v thit k mu cm bin o ỏp sut MEMS kiu in dung nhy cao, phự hp vi cụng ngh n mũn khụ Nhim v nghiờn cu Phõn tớch, xut cu trỳc cm bin o ỏp sut MEMS mi cú nhy cao da trờn vic lm mng gúc mng ... thiờn in dung, s dng hiu ng ỏp in, dao ng c in, dựng phng phỏp transistor ỏp in v.v Trong phm vi nghiờn cu ca ti, ú l nõng cao nhy cm bin ỏp sut MEMS kiu in dung 1.2 Cỏc dng cm bin ỏp s...

Ngày tải lên: 17/12/2015, 06:47

... thiệu chung Hai loại cảm biến gia tốc sử dụng phổ biến ứng dụng cảm biến kiểu tụ kiểu áp trở Hình 3.1 Cảm biến gia tốc ADXL202 Cảm biến gia tốc sử dụng đề tài cảm biến gia tốc hai chiều kiểu tụ ... loại cảm biến gia tốc thông thường trước nhiều ứng dụng Một vài ứng dụng điển hìnhcủa cảm biến gia tốc vi • Cảm biến góc Ro...

Ngày tải lên: 16/11/2012, 10:19

... vật Trên thực tế, để áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải áp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi ... suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất cụ thể chế tạo vào năm 1960, sau nhiều nhà nghiên cứu giới tập trung nghiên cứu lĩnh vực Đặc biệt có xuất cô...

Ngày tải lên: 16/03/2014, 12:43