- Trang chủ >
- Khoa học tự nhiên >
- Vật lý >
Cảm biến đo gia tốc mems kiểu áp trở
Cảm biến đo gia tốc mems kiểu áp trở
... Cảm biến đo gia tốc mems kiểu áp trở Nhiệm vụ nghiên cứu Tìm hiểu cấu trúc nguyên lý hoạt động cảm biến đo gia tốc kiểu áp trở, việc đo gia tốc kỹ thuật cảm biến đo gia tốc, giới thiệu loại cảm ... nguyên lý hoạt động cảm biến đo gia tốc silic kiểu áp trở 2.1 Vật liệu silic để chế tạo cảm biến: Cảm biến gia tốc MEMS kiểu áp trở cảm biến gia tốc kiểu áp trở chế tạo công nghệ MEMS Cấu trúc bao ... có nhiều loại cảm biến gia tốc, cảm biến gia tốc kiểu tụ, áp điện áp điện trở, cảm biến gia tốc nhiệt v.v Nhìn chung loại cảm biến có ưu nhược điểm riêng cảm biến gia tốc kiểu áp trở thông dụng...
- 39
- 866
- 0
Thiết kế mới nâng cao độ nhạy cho cảm biến áp suất mems kiểu áp trở dựa trên giải pháp tạo màng có 4 góc mỏng
... gúc mng 26 24 Độ lệch màng cức đại (micro mét) 22 20 18 16 14 12 10 0 0.2 0 .4 0.6 0.8 1.2 1 .4 1.6 1.8 2.2 áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca lch cc i trờn mng cm bin vo ỏp sut Kt qu cho thy, vựng ... mng 100 900 90 80 Độ lệch lối (mV/V) ứng suất cực đại (N/micro-m2) 800 700 600 500 40 0 300 70 60 50 40 30 200 20 100 10 0 Hỡnh S ph thuc ca ng sut cc i vo ỏp sut áp suất (atm) áp suất (atm) Hỡnh ... Micro/Nano Technologies, Xiamen, China, pp 48 1 - 48 4 4 V Dng, V N Hựng, N Chin , P V So, N Dng, L T K Thanh (2005), Mụ phng tớnh cht c ca cm bin ỏp sut MEMS s dng phn mm ANSYS, Tp Khoa hc v Cụng...
- 7
- 405
- 1
Tài liệu CẢM BIẾN ĐO VẬN TỐC, GIA TỐC VÀ RUNG ppt
... dịch chuyển (z), tốc độ (v) gia tốc (a) điểm vật rung ⇒ Đo rung: đo đặc trưng ⇒CB đo rung: CB đo dịch chuyển, CB đo tốc độ cảm biến đo gia tốc 2.1 Nguyên lý & phương pháp đo c) Sơ đồ nguyên ... Cảm biến đo rung gia tốc 2.1 Nguyên lý và phương pháp đo: a) Gia tốc: )Gia tốc đại lượng vật lý thể mối quan hệ lực khối lượng Phép đo gia tốc thực qua việc đo lực (cảm biến áp điện, cảm biến ... lý & phương pháp đo • Cảm biến thứ cấp thường sử dụng: + Cảm biến đo vị trí tương đối khối lượng rung M so với vỏ hộp + Cảm biến đo lực cảm biến đo biến dạng + Cảm biến đo tốc độ tương đối s...
- 35
- 3,117
- 72
CẢM BIẾN CÔNG NGHIỆP - CHƯƠNG 7 CẢM BIẾN ĐO VẬN TỐC, GIA TỐC VÀ RUNG pot
... móc, thiết bị • Độ rung đặc trưng độ dịch chuyển (z), tốc độ (v) gia tốc (a) điểm vật rung ⇒ Đo rung: đo đặc trưng ⇒CB đo rung: CB đo dịch chuyển, CB đo tốc độ cảm biến đo gia tốc 2.1 Nguyên lý ... lý & phương pháp đo • Cảm biến thứ cấp thường sử dụng: + Cảm biến đo vị trí tương đối khối lượng rung M so với vỏ hộp + Cảm biến đo lực cảm biến đo biến dạng + Cảm biến đo tốc độ tương đối • ... lý đo vận tốc Vai trò đo vận tốc quay: v Trong công nghiệp, phần lớn trường hợp đo vận tốc đo tốc độ quay máy v Trong trường hợp chuyển động thẳng, việc đo vận tốc dài thường chuyển đo tốc...
- 35
- 713
- 4
Cảm biến đo vận tốc góc Mems khóa luận tốt nghiệp
...
- 32
- 680
- 0
Nghiên cứu mô hình hoá cấu trúc và mô phỏng hoạt động của cảm biến đo vận tốc góc Mems cấu trúc cài răng lược
... Trần Đức Thành Ngành Vật lý chất rắn Nghiên cứu mô hình hoá cấu trúc mô hoạt động cảm biến đo vận tốc góc mems cấu trúc cài lược Luận văn thạc sĩ vật lý Khoá 11 Hà Nội, 2009 Trn c Thnh Luận văn ... quõn s v.v Cựng vi cm bin o gia tc, cỏc cm bin o tc gúc MEMS l cm bin cú t phn ln cỏc sn phm MEMS, mt cỏc loi da trờn silic Cm bin tc gúc MEMS c c tớnh s to giỏ tr khong 800 triu USD vo nm 2010 ... dũng chy 27% MEMS quay 22% Cm bin khỏc 10% RF MEMS 3% Cm bin cụng sut 11% Cm bin quỏn tớnh 22% Cm bin gia tc B chp hnh khỏc 5% Cm bin tc gúc Hỡnh 1.1 Thng kờ v th phn v doanh thu sn phm MEMS trờn...
- 75
- 540
- 0
Cảm biến đo vận tốc góc mems
... Cảm biến đo vận tốc góc MEMS Mục đích nghiên cứu Tìm hiểu hệ thống hóa kiến thức nguyên lý hoạt động cảm biến đo vận tốc góc, cấu trúc cảm biến đo vận tốc góc MEMS Đối tượng nghiên cứu Cảm biến ... Vi cảm biến vận tốc góc MEMS Vận tốc góc mức độ thay đổi góc quay đơn vị thời gian (Hình 1.4) .Vận tốc góc xác định: M’ d d dt M 1.16 O R A Hình 1.4 Sự thay đổi góc quay Cảm biến vận tốc ... khóa luận “ Cảm biến đo vận tốc góc MEMS cho phép rút số kết luận sau: Đã tìm hiểu hệ thống hóa kiến thức cảm biến đo vận tốc góc MEMS, bao gồm cấu trúc, nguyên lí hoạt động cảm biến Đã hệ thống...
- 33
- 558
- 0
Cảm biến đo vận tốc
... đo vận tốc dài Khi đo vận tốc dài, với độ dịch chuyển lớn vật khảo sát (> 1m) thường chuyển thành đo vận tốc góc Trường hợp đo vận tốc dịch chuyển thẳng nhỏ dùng cảm biến vận tốc dài gồm hai phần ... lấy từ đầu thu quang có tần số tỉ lệ với vận tốc quay cần đo Tốc độ kế điện từ Tốc độ kế điện từ đo vận tốc góc - Tốc độ kế dòng chiều: Sơ đồ cấu tạo tốc độ kế dòng chiều biểu diễn hình 18.1 ... biến thiên cách tuần hoàn làm cho từ thông qua cuộn dây biên thiên, cuộn dây xuất suất điện động cảm ứng có tần số tỉ lệ với tốc độ quay 7/9 Cảm biến đo vận tốc Hình 18.6: Sơ đồ cấu tạo cảm biến...
- 9
- 2,046
- 11
Nghiên cứu thiết kế cảm biến đo áp suất mems kiểu điện dung độ nhạy cao phù hợp với công nghệ ăn mòn khô (LV00992)
... phng v thit k mu cm bin o ỏp sut MEMS kiu in dung nhy cao, phự hp vi cụng ngh n mũn khụ Nhim v nghiờn cu Phõn tớch, xut cu trỳc cm bin o ỏp sut MEMS mi cú nhy cao da trờn vic lm mng gúc mng ... thiờn in dung, s dng hiu ng ỏp in, dao ng c in, dựng phng phỏp transistor ỏp in v.v Trong phm vi nghiờn cu ca ti, ú l nõng cao nhy cm bin ỏp sut MEMS kiu in dung 1.2 Cỏc dng cm bin ỏp sut MEMS ... ng ca cm bin ỏp sut MEMS kớch thc nh 47 3.3 c trng bin i in dung i vi cm bin MEMS kiu in dung, dch chuyn ca tõm cng mng di tỏc dng ca ỏp sut c xỏc nh thụng qua s thay i in dung ca t in c tớch...
- 60
- 472
- 0
Khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến gia tốc MEMS
... thiệu chung Hai loại cảm biến gia tốc sử dụng phổ biến ứng dụng cảm biến kiểu tụ kiểu áp trở Hình 3.1 Cảm biến gia tốc ADXL202 Cảm biến gia tốc sử dụng đề tài cảm biến gia tốc hai chiều kiểu tụ ... loại cảm biến gia tốc thông thường trước nhiều ứng dụng Một vài ứng dụng điển hìnhcủa cảm biến gia tốc vi • Cảm biến góc Roll –Pitch • Định hướng 3D không gian • Phát va chạm : thông tin gia tốc, ... tâm đến khả ứng dụng cảm biến gia tốc vi điện tử Cảm biến gia tốc chế tạo theo công nghệ vi điện tử có hai loại cảm biến kiểu tụ cảm biến kiểu áp trở Trong nhiều ứng dụng việc lựa chọn cảm biến...
- 27
- 1,911
- 8
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
... vật Trên thực tế, để áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải áp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi ... suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất cụ thể chế tạo vào năm 1960, sau nhiều nhà nghiên cứu giới tập trung nghiên cứu lĩnh vực Đặc biệt có xuất công nghệ vi cơ, mở khả vi c chế tạo linh kiện có kích ... kế Trên phương diện toán học nhằm đưa biểu thức định lượng cần thiết Cuối tìm hiểu loại cảm biến áp suất khác sử dụng công nghệ MEMS Chương 2: Thiết kế mô cảm biến áp suất áp điện trở Trên sở...
- 4
- 1,135
- 7
Từ khóa: cảm biến đo vận tốc gia tốc và rung7 cảm biến đo vận tốc gia tốc và rungcảm biến đo vận tốc cảm biến đo lựccảm biến đo vận tốccảm biến đo vận tốc giócảm biến đo vận tốc góccam bien goc gia toc goccác loại cảm biến đo vận tốcứng dụng của cảm biến đo vận tốcmạch cảm biến đo vận tốccảm biến đo vận tốc chất lỏngbiên độ gia tốccảm biến đo vận tốc chất lưubiến áp đo gia tốccảm biến gia tốc memsBáo cáo thực tập tại nhà thuốc tại Thành phố Hồ Chí Minh năm 2018chuyên đề điện xoay chiều theo dạngNghiên cứu sự hình thành lớp bảo vệ và khả năng chống ăn mòn của thép bền thời tiết trong điều kiện khí hậu nhiệt đới việt namBiện pháp quản lý hoạt động dạy hát xoan trong trường trung học cơ sở huyện lâm thao, phú thọGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitĐỒ ÁN NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ KẾT NỐI VÔ TUYẾN CỰ LY XA, CÔNG SUẤT THẤP LPWANPhát triển mạng lưới kinh doanh nước sạch tại công ty TNHH một thành viên kinh doanh nước sạch quảng ninhTrả hồ sơ điều tra bổ sung đối với các tội xâm phạm sở hữu có tính chất chiếm đoạt theo pháp luật Tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn thành phố Hồ Chí Minh (Luận văn thạc sĩ)Phát triển du lịch bền vững trên cơ sở bảo vệ môi trường tự nhiên vịnh hạ longNghiên cứu về mô hình thống kê học sâu và ứng dụng trong nhận dạng chữ viết tay hạn chếNghiên cứu tổng hợp các oxit hỗn hợp kích thƣớc nanomet ce 0 75 zr0 25o2 , ce 0 5 zr0 5o2 và khảo sát hoạt tính quang xúc tác của chúngNghiên cứu khả năng đo năng lượng điện bằng hệ thu thập dữ liệu 16 kênh DEWE 5000Tìm hiểu công cụ đánh giá hệ thống đảm bảo an toàn hệ thống thông tinChuong 2 nhận dạng rui roKiểm sát việc giải quyết tố giác, tin báo về tội phạm và kiến nghị khởi tố theo pháp luật tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn tỉnh Bình Định (Luận văn thạc sĩ)Tranh tụng tại phiên tòa hình sự sơ thẩm theo pháp luật tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn xét xử của các Tòa án quân sự Quân khu (Luận văn thạc sĩ)Giáo án Sinh học 11 bài 15: Tiêu hóa ở động vậtBÀI HOÀN CHỈNH TỔNG QUAN VỀ MẠNG XÃ HỘIHIỆU QUẢ CỦA MÔ HÌNH XỬ LÝ BÙN HOẠT TÍNH BẰNG KIỀM