... hai loại là cảm biến kiểu tụ và cảm biến kiểu áp trở. Trong các ứng dụng thì việc lựa chọn sử dụng cảm biến nào tuỳ thuộc vào yêu cầu và đặc điểm của ứng dụng đó. Cảm biến kiểu áp trở có ưu ... tựu đạt được cho thấy, công nghệ MEMS không chỉ bó hẹp trong các loại cảm biến cơ, mà có thể phát triển ứng dụng trong rất nhiều lĩnh vực cảm biến khác: cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến ... điểm của nó là hoạt động phụ thuộc nhiều vào sự thay đổi nhiệt độ và có độ nhạy kém hơn cảm biến kiểu tụ. Các cảm biến kiểu tụ có độ nhạy cao hơn, ít bị phụ thuộc vào nhiệt độ, ít bị nhiễu và...