materials & fabrication technology 2

... structure 3 .2. V ậ tli ệ u cho MEMS / Materials fo r MEMS ậ ệ 3.3. Kỹ thuậtchế tạoviđiệntử/ IC Technology 3 4 Công nghệ màng mỏng / Thin Film Technology 3 . 4 . Công nghệ màng mỏng / Thin Film Technology 3.5. ... trong ph ạmv i λ = 20 0 nm ÷ 600 nm. 14 3 32 Qkhắ (htlith h) 3.3. Kỹ thuật chế tạo vi điện tử Qui trình quang khắc 3 . 3 . 2 . Q uang khắ c ( p h o t o lith ograp h y...

Ngày tải lên: 23/04/2014, 10:17

... LPCVD ) Si+ 2 H 2 O → SiO 2 + 2 H 2 p p p ) 25 3 .2. Vật liệu cho MEMS 3 .2. 3. Vật liệu điện môi Thạch anh (SiO 2 ) Si O 2 Si O 2 O 2 )Trigonal (α-Quartz) ở nhiệt độ phòng: ª Cấutrúctinhthể và tính chất O 2 ... khí H 2 và O 2 ª Trong môi trường ẩm+thổi khí N 2 và O 2 Si+O 2 → SiO 2 Si+ 2 H O → SiO + 2 H ) Lắng đọng hóa pha hơiápsuấtthấp(low p ressur...

Ngày tải lên: 23/04/2014, 10:16

... Si + 2H 2 ) Kim loại ª 3 SiH 2 Cl 2 + 4 NH 3 → Si 3 N 4 + 6 HCl + 6 H 2 ª 3SiH 4 +4NH 3 → Si 3 N 4 +12H 2 ª 2 MCl 5 +5H 2 → 2M+10HCl 5 2 ª WF 6 +3H 2 → W+6HF ª Zn(C 2 H 5 ) 2 +7O 2 =ZnO+4CO 2 +5H 2 18 3.4. ... loại phản ứng tạo màng ª SH 4 +O 2 → SiO 2 +H 2 ) Pol y silicon ª Si(OC 2 H 5 ) 4 → SiO 2 + byproducts ª SiCl 2 H 2 +2N 2 O → SiO 2...

Ngày tải lên: 23/04/2014, 10:17

... chấtcho qui trình xử lý nhiệt. Thủy tinh Pyrex ) Thành phần: 80.6% SiO 2 , 12. 6% B 2 O 3 ,4 .2% Na 2 O ,2. 2%Al 2 O 3 ,0.04% Fe 2 O 3 , 0.1% CaO, 0.05% MgO, and 0.1% Cl. C hế át ì h C ơ c hế qu á ... loại) Tetrahydro-1,4-oxazine (20 %), 2 ithl 1 ( 5 % ) 2 ( 2 (polymer developing) Lắng đọng điện hóa (electroplating) Kim loạitạo khuôn 2 -am i noe th ano l - 1 ( 5 % ) , 2...

Ngày tải lên: 23/04/2014, 10:19

... Pressure sensor [5, 120 , 121 ] – Accelerometer [ 122 ] – Ultrasound transducers [ 123 ] Motorola (now Freescale) – Pressure sensor [ 124 , 125 ] Fraunhofer Institute IMS – Pressure sensor [ 126 – 128 ] RWTH Aachen ... Modules 17 1 .2. 1 Bulk Micromachining 18 1 .2. 2 Surface Micromachining 22 1.3 CMOS-compatible Design of MEMS and NEMS 23 1.3.1 Tolerable Process Modifications 24 1.3 .2...

Ngày tải lên: 28/05/2014, 14:24

... Functions 21 9 Steam 22 0 Boiler Operation 22 0 Steam Systems 22 1 Steam Generation System 22 3 Steam System Symbols 22 5 Summary 22 6 Review Questions 22 7 Chapter 10 Furnaces 22 9 Key Terms 23 0 Furnace Applications ... Instruments 25 7 Key Terms 25 8 Basic Instruments 25 9 Pressure Measurement 26 2 Level Measurement 27 1 Final Control Elements 27 8 Summary 28 2 Review Ques...

Ngày tải lên: 15/08/2013, 07:50

... vegetable biomass. Recycling technology of the vegetable biomass has been reported. (Hirata et al., 20 02; Kawasaki et al., 20 05; Bun-ei et al., 20 05; Nakanishi et al., 20 02) . On the other hand, ... Tanada, S. (20 02) Characterization of water adsorption onto carbonaceous materials produced from food wastes. J. Colloid Interface Sci., Vol .25 5, No.1, 59-63. Panayotova, M...

Ngày tải lên: 05/09/2013, 09:08

... Aided Manufacturing Computer Technology VGA CARD VGA Card RAM HARD DISK HARD DISK FLOPPY DISK FLOPPY DISK AUXILIARY OÅ CD Ñóa CD Tape Drive FLASH MEMORY Computer Technology The digital computer ... system, so it is essential to be familiar with the technology of the digital computer and the principles on which it works. Modem HUB Computer Technology • The physical component un...

Ngày tải lên: 13/12/2013, 08:15

... 18 2. 3.3. Language proficiency problem 22 2. 3.4. Lack of background knowledge 24 2. 3.5. Reading materials 24 2. 3.6. Teaching methods 25 2. 4. ESP and ESP reading 26 2. 4.1. Definition of ESP 26 2. 4 .2. ... learners 12 2 .2. 1. Language problem 12 2 .2. 2. Reading skill problem 14 2. 2.3. Cultural background knowledge problem 15 2. 3. Causes of difficulties in L2 readin...

Ngày tải lên: 18/12/2013, 10:03