quá trình và thiết bị công nghệ sinh học . quyển 12 Hình 12. 6. Máy siêu lọc: 1- Thùng chứa dung dịch ban đầu; 2- Bộ lọc vi khuẩn; 3- Bơm nạp dung dịch; 4- Bộ chống rung; 5- Bộ lọc sơ bộ; 6- Bơm. Hình 12. 8. Sơ đồ tổ hợp siêu lọc YΦ -1 5/40 1- Thùng chứa dịch; 2- Bơm tuần hoàn; 3-Bộ lọc sơ bộ; 4- Thiết bị lọc bằng màng mỏng; 5- Van tiết lưu; 6- Bộ