Để khảo sát ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên cấu trúc bề mặt, chúng tôi đã tiến hành chụp ảnh AFM của các mẫu S-0-3, S-5-3, S-8-3.
S-0-3 S-5-3 S-8-3
Hình 4.5: Ảnh bề mặt AFM của các mẫu S-0-3, S-5-3, S-8-3
Quan sát kết quả thu được từ các ảnh AFM ta nhận thấy mẫu S-5-3 (mẫu có nồng độ pha tạp 5%) có bề mặt gồ ghề hơn, do các hạt có kích thước nhỏ và bắt đầu có khuynh hướng kết đám, độ xẽ rãnh của màng lớn hơn nhiều so với màng SnO2 thuần (S-0-3). Khi pha tạp Sb vượt quá 5% mol, hạt tuy có kích thước nhỏ hơn, nhưng có xu hướng kết đám mạnh làm giảm đáng kể độ xốp cũng như độ gồ ghề của màng. Do đó, khả năng hấp phụ Oxi trong không khí của màng S-5-3 lớn hơn màng thuần và các màng có nồng độ pha tạp khác. Ảnh AFM ở hình 4.5 cho ta thấy rõ điều đó.
Qua đó, ta có thể thấy được ảnh hưởng của tạp chất lên cấu trúc màng và hình thái bề mặt màng, tạp chất không những giúp cho màng có định hướng tinh thể tốt mà còn làm thay đổi cấu trúc bề mặt màng, qua đó sẽ làm thay đổi tính chất nhạy khí của màng.
Từảnh phổ XRD, AFM ta có thể rút ra kết luận là màng mỏng SnO2 pha tạp Sb với nồng độ 5%mol có khả năng là màng dò khí tốt nhất Để kiểm chứng dựđoán này, chúng tôi đã tiến hành đo độ nhạy hơi rượu của các màng tạo được.