BÁO cáo LITERATURE REVIEW CASE STUDY đề tài piezoelectric actuator

TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI VIỆN CƠ KHÍ BỘ MÔN CƠ SỞ THIẾT KẾ MÁY VÀ ROBOT -o0o - BÁO CÁO LITERATURE REVIEW & CASE STUDY HỌC PHẦN : MICRO ROBOT MÃ HỌC PHẦN : ME5609 Tên đề tài: Piezoelectric Actuator Giảng viên hướng dẫn: TS Nguyễn Xuân Hạ Nhóm sinh thực hiện: Nhóm Hà Nội, 07/2022 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics STT TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ BẢN NHẬN XÉT CỦA GIẢNG VIÊN HƯỚNG DẪN Giảng viên hướng dẫn: TS Nguyễn Xuân Hạ Sinh viên thực hiện: Nhóm Nhận xét giảng viên hướng dẫn ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………… ……………………………………… Hà Nội, ngày……….tháng………năm Giảng viên hướng dẫn ký tên TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ LỜI NÓI ĐẦU MicroRobotics lĩnh vực robot thu nhỏ, cung cấp khả tương tác với vật có kích thước vượt q khả sinh lý tự nhiên người Lưu ý định nghĩa đề xuất không thiết ngụ ý thân MicroRobot (robot vi mô) có quy mơ milimet Robot hoạt động vật thể có kích cỡ milimet khơng gian làm việc cỡ milimet, phân loại MicroRobot (robot vi mô) MicroRobotics xây dựng cở số ngành kỹ thuật xác, robotics vật lý ứng dụng, phát triển thành lĩnh vực riêng Trong thực tế, có nhiều lý giải thích cho hình thành lĩnh vực MicroRobotics: Giảm vật tư tiêu hao, tăng tốc độ đáp ứng cho hệ thống, nâng cao tính di động hết để thực nhiệm vụ phức tạp chuyên biệt mà hệ thống Robot truyền thống thực Ví dụ định hình phân tích tín hiệu ánh sáng; pha trộn, xử lý phân tích thể tích hóa chất siêu nhỏ; cảm biến tín hiệu học; khí thăm dị giải trình tự phân tử sinh học Những nhiệm vụ đảm nhận hệ thống MicroRobot Giờ đây, việc đẩy mảnh nghiên cứu hệ thống lắp ráp quy trình điều chế vi mơ tiến hành để phục vụ mục đích trên, hướng tới bứt phá mặt công nghệ tương lai Trong lĩnh vực MicroRobotics, Piezoelectric Actuator (bộ kích hoạt áp điện) hướng nghiên cứu quan trọng, có ứng dụng lớn lĩnh vực, việc dành nhiều quan tâm cho định hướng lẽ tất yếu Trong Literature Review này, nhóm sinh viên (có danh sách kèm theo) thực đề tài Piezoelectric Atuator nhằm làm sáng tỏ số nội dung vấn đề Nhóm chúng em xin chân thành cảm ơn TS Nguyễn Xuân Hạ giảng dạy tâm huyết, hướng dẫn tận tình quan tâm ân cần để giúp nhóm hồn thành lần Tuy cố gắng chắn cịn có nhiều thiếu sót, nhóm mong TS Nguyễn Xuân Hạ có góp ý, sửa đổi để hoàn thiện TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ MỤC LỤC LỜI NÓI ĐẦU DANH MỤC HÌNH VẼ LITERATURE REVIEW: PIEZOELECTRIC ACTUATOR TỔNG QUAN VỀ PIEZOELECTRIC ACTUATOR 1.1.Hiệu ứng áp điện (piezoelectric effect) 1.2.Bộ kích hoạt áp điện ĐẶC TRƯNG MỘT SỐ VẬT LIỆU ÁP ĐIỆN VÀ NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG 2.1.Vật liệu áp điện 2.1.1 Piezoelectric Single Crystals (Đơn tinh thể áp điện) 2.1.2 Piezoelectric Ceramics (Gốm áp điện) 2.1.3 Piezoelectric Polymers (Polyme áp điện) 2.2.Nguyên lý hoạt động gốm áp điện PHÂN LOẠI, ƯU NHƯỢC ĐIỂM VÀ ỨNG DỤNG CỦA THIẾT BỊ ÁP ĐIỆN 3.1.Multilayer (stack) actuators 3.2.Bimorph (bender) actuators 3.3.Stick-slip actuators 3.3.1 Tổng quan Stick-Slip actuators 3.3.2 Một số tượng cấu Stick-Slip 3.4.Tube actuators 3.5.Bulk actuators TÍNH TỐN THIẾT BỊ ÁP ĐIỆN 4.1.Bộ kích hoạt áp điện ngăn xếp 4.2.Bimorph (bender) actuators 4.3.Stick-slip actuators 4.4.Bộ kích hoạt ống áp điện MƠ HÌNH HĨA BỘ VI ÁP ĐIỆN 5.1.Mơ hình hóa thiết bị truyền động ngăn xếp 5.1.1 Các mơ hình thiết bị truyền động ngăn xếp TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xn Hạ 5.1.2 Mơ hình tượng trễ (Hysteresis models) 44 KẾT LUẬN 48 CASE STUDY 49 I,Design and optimization of MEMS based piezoelectric actuator for drug delivery systems (Thiết kế tối ưu hóa truyền động áp điện dựa MEMS cho hệ thống phân phối thuốc) 49 Giới thiệu hệ thống 49 Cấu tạo hệ thống 49 kết thảo luận 54 Kết luận 62 II Design of a Linear Walking Stage based on Two Types of Piezoelectric Actuators (Thiết kế bậc di chuyển bước tuyến tính dựa hai loại thiết bị truyền động điện áp) Giới thiệu chung hệ thống Cấu tạo hệ thống Nguyên lý hoạt động hệ thống Thí nghiệm 4.1 Hệ thống thí nghiệm 4.2 Đặc điểm chuyển động bước 4.3 Tần số dẫn 4.4 Dung tải Kết luận III An Umbrella-shape Linear Piezoelectric Actuator based on Stick-Slip Motion Principle (Bộ truyền động áp điện tuyến tính hình dựa ngun tắc 4.1 4.2 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ TÀI LIỆU THAM KHẢO 79 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ DANH MỤC HÌNH VẼ Hình Hiệu ứng áp áp xảy thông qua việc nén vật liệu áp điện Hình Hiệu ứng áp áp đảo ngược Hình (a) ứng dụng vào bật lửa Hình Bộ kích hoạt điện áp ngăn xếp Hình Cơ chế khuếch đại thủy lực kích hoat áp điện Hình Động truyền động qn tính Hình Cơ cấu kẹp Zheng Li (bên trái) Das (bên phải) Hình Bimorph piezoelectric actuator Hình Cấu trúc bimorph, unimorph triple layer benders, (a) bimorph bender chuỗi kết nối, (b) bimorph bender kết nối song song, (c) triple layer bender, (d) unimorph bender, (e) thiết bị cầu vồng (QM Wang, X Du, B Xu, LE Cross, 1999) Hình 10 Động quay quán tính hai bậc tự bố trí bimorph piezo (S Zhang, Y Liu, J Deng, X Tian, X Gao, 2021) Hình 11 Mơ tả ngun lý hoạt động động Zhang (S Zhang, Y Liu, J Deng, X Tian, X Gao, 2021) Hình 12 Sơ đồ nguyên lý chuyển động dính-trượt (Nicolas Chaillet, Stéphane Régnier, 2010) 24 Hình 13 Mơ hình Stick-slip actuator Zhang (Y Zhang, Y Peng, Z Sun, H Yu, 2018)26 Hình 14 Mơ hình Stick-slip actuator Xu (Z Xu, H Hình 15 Biến dạng nhấp nhơ chuyển vị đầu Hình 16 Quan hệ độ lớn biên độ dao động độ lớn bước dịch chuyển PTCH.28 Hình 17 Tube actuators Hình 18 Cơ cấu bậc tự do, bậc tự do, toàn bậc vật liệu áp điện [18] Hình 19 Sơ đồ thiết kế IDE cấu chấp hành Hình 20 Thiết kế chuyển động hỗn hợp IDE Hình 21 Piezoelectric actuator Hình 22 Các thơng số cấu hình ngăn xếp Hình 23 Đặc tính tĩnh thiết bị truyền động ngăn xếp áp điện (XLi FBi hành trình tự lực chặn điện áp Vi, i = 1, 2, 3) Hình 24 Bộ kích hoạt áp điện Bimorph Hình 25 Nguyên tắc hoạt động bimorph Hình 26 Các thơng số cấu hình bimorph Hình 27 Nguyên tắc hoạt động chế độ bước [BRE 98] Hình 28 (a) Chế độ xem bùng nổ microrobot (b) Ảnh tồn Hình 29 Mặt cắt ngang kích hoạt ống áp điện Hình 30 Mơ hình tham số gộp phi tuyến Hình 31 Mơ hình lớp piezoceramics Hình 32 Tốn tử vùng chết phía Hình 33 Thiết kế đề xuất micropump TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics Hình 34 sơ đồ truyền áp điện Hình 35 mặt bên tryền động Hình 36 cấu áp điện hình chữ nhật Hình 37 biểu diễn sơ đồ hiệu ứng áp điện ngược Hình 38 tính chất gốm áp điện gốm thay Hình 39 phân tích theo phương thức tần số truyền động tròn Tần số A 60Hz B 85Hz C 72Hz D 98Hz E 81Hz F 111Hz Hình 40 Phân tích theo phương thức tần số truyền động hình chữ nhật a 5Hz,b 30Hz, c 12Hz, d 34Hz,e 25Hz,f 45Hz Hình 41 phân tích ứng suất cấu chuyền động trịn có độ dày khác biểu diễn đồ hoạ tương ứng cảu MFS=1 A 0.1µm, b 0.2 µm, c 0.3 µm d 0.4 µm Hình 42 phân tích ứng suất cấu chuyền động hình chữ nhật có độ dày khác biểu diễn đồ hoạ tương ứng cảu MFS=1 A 0.6µm, b 0.8 µm, c 1.0 µm d 1.2 µm 55 Hình 43 độ lệch đồng a truyền động trịn có chiều dày 0.1µm, b truyền động trịn có độ dày 0.2µm, c truyền động hình chữ nhật có độ dày 0.6 µm,c truyền động hình chữ nhật có độ dày 0.8µm Hình 44 phân tích dịch chuyển truyền động trịn cách thay đổi diện áp đầu vào cho độ dày khác lớp áp điện Hình 45 phân tích dịch chuyển truyền động tròn cách thay đổi diện áp đầu vào cho độ dày khác lớp áp điện Hình 46 Bậc di chuyển bước tuyến tính dựa hai loại thiết bị truyền động điện áp … 62 Hình 47 Tín hiệu điện áp đầu vào gốm điện áp… ………………………………… 63 Hình 48 Quá trình chuyển động cấu chấp hành kiểu di chuyển bước đề xuất vòng tròn làm việc… ………………………………………………………… 64 Hình 49 Hệ thống thí nghiệm bậc …………………………………………………… 66 Hình 50 Dịch chuyển …………………… 66 đầu điện áp dẫn động khác Hình 51 Mối quan hệ vận tốc tần số chuyển động ……………………………… 67 Hình …………………………………….67 52 Hình ra… …………………………………….68 53 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ Trong thiết kế bậc điện áp di chuyển bước tuyến tính, khả chịu tải tham số hiệu suất ảnh hưởng đến ứng dụng hệ thống Theo Mục 3.1.2 Mục 3.2 đề cập trên, biết vật liệu tiếp xúc trượt kéo gốm áp điện ảnh hưởng đến khả chịu tải bậc thông qua hệ số ma sát Trong loại giấy này, người ta dán lớp kính cường lực lên bề mặt kéo gốm áp địên để tăng hệ số ma sát bề mặt tiếp xúc Một trọng lượng tiêu chuẩn thêm vào mặt sau trượt thông qua sợi dây để tạo tải biết có khối lượng thay đổi từ 0,049 N đến 4,9 N Một tín hiệu có điện áp 200 V tần số 1Hz đưa vào hệ thống thí nghiệm để kiểm tra khả chịu tải bậc Theo mơ hình động lực học, hàm lý thuyết khả chịu tải bậcvà tải trọng nhận sau: m s xă1 (t )=Fpzt 1Fload =f v x1 (t) mw khối lượng xấp xỉ vật nặng tiêu chuẩn Mối quan hệ vận tốc tải trọng mw suy (ms + mw ) v˙−f v v+ mw g=0 Hệ thống thí nghiệm kiểm tra tải đầu thiết lập hình 14 Từ kết thực nghiệm hình 15, nhận thấy cơng suất phụ tải đầu tiếp tục tăng đến 4.9 N giai đoạn hoạt động ổn định , phù hợp với kết lý thuyết kết thí nghiệm có chút sai lệch so với giá trị lý thuyết, độ trễ phi tuyến thiết bị truyền động trượt Do đó, cơng suất tải định danh lớn giai đoạn đặt 4,9 N Hình 53 Hệ thống thí nghiệm kiểm tra tải đầu 69 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ Hình 54 Vận tốc bậc tải khác Kết luận Một bậc áp điện di chuyển trượt tuyến tính hai bước cho độ phân giải cao có khả tự khóa đề xuất phân tích Lị xo nén sử dụng để đạt chức tự khóa khả chịu tải lớn Mơ hình lý thuyết giai đoạn đề xuất xây dựng để tính toán dịch chuyển đầu cấu kẹp trượt mặt lý thuyết Các kết lý thuyết mô so sánh để xác minh độ xác mơ hình Một ngun mẫu Chúng tơi tun bố chúng tơi khơng có lợi ích tài mối quan hệ cá nhân cạnh tranh ảnh hưởng đến cơng việc báo cáo báo chế tạo tiến hành loạt thí nghiệm để kiểm tra hiệu suất công việc mẫu thử nghiệm xác minh thêm tính đắn mơ hình tính khả thi giai đoạn đề xuất Theo kết thử nghiệm, chuyển động tối đa sân khấu bước 0,86 μm với điện áp 200 V tần số Hz, nhỏ chút so với giá trị mô (0,93 μm) Giai đoạn đề xuất đạt tốc độ đầu tối đa 28,1 μm / s 30 Hz, lực đầu tối đa 4,9 N Hz với điện áp ổ đĩa 200 V độ phân giải 30 nm điện áp ổ đĩa 13,5 V Các hoạt động tương lai tập trung vào việc cải thiện hiệu suất đầu bậc thông qua việc sử dụng khuếch đại công suất cao điều khiển vịng kín bậc để loại bỏ ảnh hưởng tính trễ phi tuyến gốm điện áp 70 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ III An Umbrella-shape Linear Piezoelectric Actuator based on Stick-Slip Motion Principle (Bộ truyền động áp điện tuyến tính hình ô dựa nguyên tắc chuyển động Stick-Slip) Giới thiệu chung hệ thống Bộ truyền động áp điện sử dụng rộng rãi nhiều lĩnh vực nghiên cứu cơng nghiệp chúng đạt độ xác định vị cao Tuy nhiên, hành trình làm việc loại thiết bị bị hạn chế làm giảm khả ứng dụng thiết bị truyền động Cơ cấu chấp hành áp điện nói chung chia thành hai loại loại đẩy trực tiếp loại bước Cơ cấu chấp hành kiểu đẩy trực tiếp có đặc điểm cấu tạo đơn giản, khơng có ma sát đáp ứng nhanh hành trình làm việc vài micromet biến dạng nhỏ vật liệu áp điện Rất nhiều nỗ lực thực để cải thiện hành trình áp dụng chế phóng đại lề uốn để khuếch đại độ dịch chuyển đầu phần tử áp điện Tuy nhiên, hành trình làm việc đạt vài trăm micromet tần số làm việc giảm xuống rõ rệt Để cải thiện hành trình làm việc thiết bị truyền động áp điện, thiết bị truyền động kiểu bước đề xuất, sử dụng chuyển động kiểu bước Mặc dù bước chu kỳ chuyển động nhỏ tích lũy lại đạt hành trình làm việc lớn Cơ cấu chấp hành loại chia thành ba loại: loại siêu âm, loại inchworm loại trượt dính Bộ truyền chuyển động kiểu siêu âm đạt hành trình làm việc lớn dựa hiệu ứng áp điện nghịch đảo nguyên tắc rung siêu âm Truyền động kiểu siêu âm có ưu điểm cấu tạo đơn giản, nhiễu bị mài mịn nhiều khơng thích hợp để hoạt động liên tục Bộ truyền động áp điện kiểu inchworm có độ xác cao Tuy nhiên, cấu tạo hệ thống điều khiển phức tạp Nghiên cứu đề xuất cấu hình ơ, dựa ngun lý trượt chế uốn hình ơ, truyền động áp điện đạt hành trình lớn Cấu tạo hệ thống Cơ cấu chấp hành áp điện tuyến tính hình bao gồm trượt tuyến tính, hai ngăn xếp PZT, hai cặp khối nêm, bốn vít, hai núm micromet, cấu uốn hình đế hình 1a Thanh trượt tuyến tính cấu uốn cong hình ô tiếp xúc với gắn chặt vào đế vít Hai ngăn xếp PZT khối nêm lắp ráp bên cấu uốn hình Hình 1b cho thấy kích thước cấu uốn hình Kích thước chung thiết bị truyền động 60 x 50 x 18 mm 71 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ Hình 55: Cấu tạo cấu chấp hành 1- trượt tuyến tính 6-núm micromet 2,3- ngăn xếp PZT 7-cơ cấu uốn hình 4- khối nêm 8- đế 5-vít 72 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ Nguyên lý hoạt động hệ thống Nguyên lý hoạt động hệ thống Hình 56: Nguyên lý chuyển động cấu uốn hình Hình mơ tả ngun lý hoạt động cấu uốn hình M điểm tiếp xúc cấu uốn hình ô trượt A, B, C, D, E, H lề uốn tròn, N điểm tiếp xúc ngăn xếp đoạn EH Khi ngăn xếp nhận cấp điện giãn cấu hình bị biến dạng điểm M di chuyển đến vị trí M’ làm cho trượt chuyển động có ma sát Cơ cấu hình ô thiết kế đối xứng, trượt di chuyển ngược lại ngăn xếp cấp điện 73 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ Hình 57: Nguyên lý hoạt động truyền động áp điện tuyến tính hình đề xuất Hình minh họa ngun lý hoạt động thiết bị truyền động hình ô đề xuất Ban đầu, tất phận lắp ráp hình 3.1 Quá trình chuyển động truyền động áp điện hình cưa chia thành bước Bước 1, điện hình cưa tăng dần từ a đến b Ngăn xếp PZT giãn từ từ khiến cấu hình bị biến dạng làm cho trượt di chuyển Bước 2, điện áp giảm mạnh từ b xuống c, ngăn xếp PZT lùi lại cách nhanh chóng chế hình lùi lại tương ứng Tuy nhiên, trượt gần đứng yên lực quán tính, nghĩa trượt di chuyển khoảng ΔS theo phương x so với vị trí ban đầu Lặp lại chu trình thu hành trình làm việc lớn Hướng chuyển động thay đổi cách sử dụng ngăn xếp PZT khác 4 Thí nghiệm, kết đánh giá Hệ thống thí nghiệm Hệ thống thí nghiệm gồm máy tính cá nhân (PC), tạo tín hiệu (9400, Tabor Electronics), ngun mẫu thiết bị truyền động hình cảm biến laser Trong 74 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ trình thí nghiêm, tín hiệu điện hình cưa tạo tạo tín hiệu khuếch đại lên Sau tín hiệu điện áp đặt lên ngăn xếp Cảm biến laser phát thông tin dịch chuyển trượt di chuyển Thơng tín dịch chuyển hiển thị hình PC Hình 58: Hệ thống thí nghiệm 4.2 Kết đánh giá Hình cho thấy mối quan hệ điện áp đầu vào độ dịch chuyển f = Hz Hình 7a cho thấy dịch chuyển theo thời gian với hiệu điện khác Nhìn chung, độ dịch chuyển tăng theo thời gian Trong bước chuyển động, người ta thấy chuyển động lùi tuần hồn xuất theo sau chuyển động phía trước ma sát cấu hình trượt cấu hình vị trí ban đầu Chuyển vị bước thực tế là: ΔL=Lđi−Lvề Hình 7b cho thấy mối quan hệ độ dịch chuyển bước điện áp đầu vào Bước dịch chuyển ΔL tăng dần từ 0,495 µm đến 1,412 µm điện áp đầu vào tăng từ 30 V đến 120 V Hệ số tương quan R2 = 0,9762 hệ thống hoạt động ổn định Dịch chuyển bước tuyến tính hóa hàm số: ΔL=0.0107 U +0.1909 75 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ Hình 59: Mối quan hệ điện áp đầu vào độ dịch chuyển Hình cho thấy mối quan hệ tần số đầu vào chuyển vị bước U = 120 V Sự dịch chuyển bước dao động từ 1,12 µm đến 1,52 µm f = 100Hz giảm xuống 0,882 µm f = 200Hz Sau bước dịch chuyển đạt cực đại 2,481 µm f = 400Hz giảm xuống 0,019 µm f = 1300Hz Điều f lớn, ngăn xếp PZT không kịp kéo hết chiều dài Nguyên mẫu giữ ổn định tần số đầu vào vượt 400Hz U =120 V 76 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ Hình 60: Mối quan hệ tần số đầu vào độ dịch chuyển bước U= 120V Hình 61: Mối quan hệ độ dịch chuyển bước tải trường hợp U =120 V f = 1Hz Trong trình thử nghiệm, loạt trọng lượng tiêu chuẩn đặt lên trượt Hình cho thấy chuyển vị bước giảm tuyến tính tăng tải trọng Hệ số tương quan R2 =0,9432 cho thấy hệ thống ổn định Chuyển vị bước biểu thị hàm số: 77 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ ΔL=−0,0041 m+ 1,1213 Nếu tải m > 220 ngun mẫu khơng thể hoạt động ổn định Kết luận Nghiên cứu cho thấy truyền động áp điện tuyến tính hình khả thi đạt hành trình lớn độ xác cao Kết dịch chuyển cho thấy độ dịch chuyển bước nhỏ 0,495 µm điện áp U = 30 V f = 1Hz, tải tối đa m = 220 g; độ dịch chuyển bước lớn 2,481 µm f = 400 Hz U = 120 V, tốc độ cực đại đạt 992,4 µm/s Chúng đề xuất làm giảm hệ số ma sát cấu hình trượt để tăng hiệu suất cách làm tăng độ bóng trượt 78 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] KK Sappati, S Bhadra, “Piezoelectric polymer and paper substrates: a review,” 2018 [2] Z Li, L Zhao, X Yu, “A novel stick-slip piezoelectric actuator based on two-stage flexible hinge structure,” 2020 [3] TK Das, B Shirinzadeh, M Ghafarian, “Design, analysis, and experimental investigation of a single-stage and low parasitic motion piezoelectric actuated microgripper,” 2020 [4] S Zhang, Y Liu, J Deng, X Tian, X Gao, “Development of a two-DOF inertial rotary motor using a piezoelectric actuator constructed on four bimorphs,” 2021 [5] Z Xu, H Huang, J Dong, “A stick-slip piezoelectric actuator with measurable contact force,” 2020 [6] X Gao, J Yang, J Wu, X Xin, Z Li, X Yuan, “Piezoelectric actuators and motors: materials, designs, and applications,” 2020 [7] Digvijay S Raghunvanshi, Steven I Moore, Andrew John Fleming, Yuen Kuan Yong, "Electrode Configurations for Piezoelectric Tube Actuators With Improved Scan Range and Reduced Cross-Coupling," 2020 [8] S M Afonin, "Structural-Parametric Model of Electromagnetoelastic Actuator for Nanomechanics, " 2018 [9] K Srinivasa Rao, Md Hamza1, P Ashok Kumar1, K Girija Sravani, “Design and optimization of MEMS based piezoelectric actuator for drug delivery systems,” 2019 [10] Jingnan Cai, Fangxin Chen, Lining Sun, Wei Dong, “Design of a Linear Walking Stage based on Two Types of Piezoelectric Actuators”, 2021 [11] Jiafeng Yao, Junjie Cai, Yili Hu, Jianming Wen, Nen Wan, Hao Wang, and Jianping Li, “An Umbrella-Shaped Linear Piezoelectric Actuator Based on Stick-Slip Motion Principle”, 2019 Ahsan Ali, Riffat Asim Pasha, Hassan Elahi, “Investigation of Deformation in Bimorph Piezoelectric Actuator: Analytical, Numerical and Experimental Approach”, 2019 [12] [13] 79 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ 80 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ 81 TIEU LUAN MOI download : skknchat123@gmail.com ... DANH MỤC HÌNH VẼ LITERATURE REVIEW: PIEZOELECTRIC ACTUATOR TỔNG QUAN VỀ PIEZOELECTRIC ACTUATOR 1.1.Hiệu ứng áp điện (piezoelectric effect) 1.2.Bộ kích hoạt... skknchat123@gmail.com MicroRobotics GVHD: TS Nguyễn Xuân Hạ LITERATURE REVIEW: PIEZOELECTRIC ACTUATOR TỔNG QUAN VỀ PIEZOELECTRIC ACTUATOR 1.1 Hiệu ứng áp điện (piezoelectric effect) Hiệu ứng áp điện phát hai... (stack) actuators 3.2.Bimorph (bender) actuators 3.3.Stick-slip actuators 3.3.1 Tổng quan Stick-Slip actuators 3.3.2 Một số tượng cấu Stick-Slip 3.4.Tube actuators